ショウエネルギー事例ジレイ一覧イチラン
製造セイゾウ装置ソウチヘン装置ソウチ工程コウテイベツ一覧イチラン
事例ジレイ詳細ショウサイ ブン     タグイ 設備セツビメイ 題目ダイモク
ショウエネ事例ジレイメイ
削減サクゲン効果コウカ ページ
コウカズ
資料シリョウ確認カクニン       確認カクニン事項ジコウ
(どちらかに○シルシ
 
設備セツビ工程コウテイ エネルギー ショウエネホウナド 電力デンリョク ガス 排気ハイキ 液体エキタイ 設置セッチ面積メンセキ その               設備セツビ工程コウテイ分類ブンルイ エネルギー分類ブンルイ ショウエネホウトウによる分類ブンルイ
05-AE01 組立工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 気・動力・熱変換合理化 研削ケンサク装置ソウチ BG(研削ケンサク排水ハイスイ回収カイシュウ 210,000 kWh/ネン         節水セッスイ
70k㎥/ネン
  松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ 2005/4/4 ########   設備セツビ工程コウテイ分類ブンルイチガ ウエハ処理ショリ工程コウテイ 製造セイゾウ装置ソウチへの供給キョウキュウエネルギー(電力デンリョク、ガス、ミズホカ 燃焼ネンショウ合理化ゴウリカ
05-AE02 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) その他 ウェット装置ソウチ ウェットシステム直接チョクセツ外気ガイキ導入ドウニュウ 100,000 kWh/ネン 1,400kl/ネン           松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ 2005/4/4 ########   エネルギー分類ブンルイチガ 2.組立クミタテ工程コウテイ 2.空調クウチョウ負荷フカエネルギー(排気ハイキ放熱ホウネツなど) 2.加熱カネツ冷却レイキャク電熱デンネツ合理化ゴウリカ
05-AE03 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 気・動力・熱変換合理化 現像ゲンゾウ装置ソウチ TMAH排水ハイスイ回収カイシュウ設備セツビ 39,000 kWh/ネン         節水セッスイ
13,000㎥
  松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ 2005/4/4 ########   3.検査ケンサ工程コウテイ 3.材料ザイリョウ廃棄ハイキエネルギー 3.放射ホウシャ伝導デンドウトウによるネツ損失ソンシツ防止ボウシ
05-AE04 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 加熱・冷却・電熱合理化 プラズマ剥離ハクリ ドライポンプN2使用量シヨウリョウ適正化テキセイカ   N 80%           松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ 2005/4/4 ########   題目ダイモクがふさわしくない 4.モジュール(実装ジッソウ工程コウテイ 4.設置セッチ面積メンセキ 4.ハイネツ回収カイシュウ利用リヨウ
05-AE05 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 気・動力・熱変換合理化 酸化サンカマクCMP パッドのN2パージ圧力アツリョク変更ヘンコウ   N 50%           松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ 2005/4/4 ########   ショウエネホウ分類ブンルイチガ 5.マスク・レチクル製造セイゾウ工程コウテイ 5.製品セイヒンたりの消費ショウヒエネルギー削減サクゲン 5.ネツ動力ドウリョク変換ヘンカン合理化ゴウリカ
05-AE06 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 気・動力・熱変換合理化 イオン注入チュウニュウ装置ソウチ ガスボンベ使用シヨウ圧力アツリョク変更ヘンコウ   BF、PH
A
SH3 40%
          松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ 2005/4/4 ########   ショウエネホウ分類ブンルイチガ 6.共通キョウツウ 6.そのホカ 6.抵抗テイコウトウによる電気デンキ損失ソンシツ防止ボウシ
05-AE07 検査工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 ハンドラー ファイナルテスト(FT)同測率向上 0.2%
74,300 kWh/年
            松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ 2005/4/4 ########   設備セツビメイがおかしい そのホカ 動力ドウリョクネツ変換ヘンカン合理化ゴウリカ
05-AE08 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 レジストコーター
レジスト剥離ハクリ
エッチング工程コウテイ合理化ゴウリカでの電力デンリョク削減サクゲン 100%
51,662 kWh/ネン
            松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ 2005/4/4 ########   エネルギー分類ブンルイチガ 8.電気デンキヒカリ変換ヘンカン合理化ゴウリカ
05-AE09 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 エピタキシャル成長セイチョウ装置ソウチ サイクルタイム短縮による消費電力の削減 79.6%
12,464 kWh/ネン
            松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ 2005/4/4 ########   エネルギー分類ブンルイチガ 9.電気デンキ・プラズマ変換ヘンカン合理化ゴウリカ
05-AE10 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 抵抗等による電気の損失防止 スパッタ装置ソウチ ドライポンプへの省電力アタッチメント(ECO-SHOCK)取付 46.9%
14,860 kWh/ネン
N 100%           松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ 2005/4/4 ########   10.シンエネ・未利用ミリヨウエネ活用カツヨウ
05-AE11 組立工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 ワイヤボンダ ワイヤボンダ稼働ロス低減による生産性向上 15%
14,860 kWh/ネン
            セイコーエプソン エンミネサマ 2005/4/4 ########   1反応ハンノウ合理化ゴウリカ
05-AE12 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 気・動力・熱変換合理化 注入チュウニュウセイマク装置ソウチ クライオポンプコンプレッサーの低消費電力型への交換 8.3%
43,200 kWh/ネン
            セイコーエプソン エンミネサマ 2005/4/4 ########   説明セツメイ不十分フジュウブン特性トクセイ比較ヒカクヒョウくらいはしい) 12.生産セイサンゴウ工程コウテイ合理ゴウリ
05-AE13 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 生産合工程合理化 製造セイゾウ装置ソウチ真空シンクウポンプ 真空ポンプ間欠運転 18,000 kWh/ネン             セイコーエプソン エンミネサマ 2005/4/4 ########   シートナイ内容ナイヨウがわかるようにしてしい 13.その
05-AE14 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 生産合工程合理化 装置ソウチ真空シンクウポンプ 真空ポンプ間欠運転   N 25%           セイコーエプソン エンミネサマ 2005/4/4 ########   シートナイ内容ナイヨウがわかるようにしてしい
05-AE15 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 生産合工程合理化 低圧CVD・拡散装置
(FURNACE)
待機時の炉温低減 3.0%
2,600 kWh/ネン
            セイコーエプソン エンミネサマ 2005/4/4 ########   シートナイ内容ナイヨウがわかるようにしてしい
05-AE16 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー(排気、放熱など) その他 枚葉式CVD装置 装置筐体(熱系)排気停止による省エネ 7,534 kWh/ネン   100%         三洋サンヨウ電機デンキ 丸山マルヤマサマ ######## ########  
05-AE17 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー(排気、放熱など) 放射・伝導等による熱損失防止 エッチング装置ソウチ チラーチューブの断熱による省エネ 10%
613kWh/ネン
            三洋サンヨウ電機デンキ 丸山マルヤマサマ ######## ########  
05-AE18 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー(排気、放熱など) 放射・伝導等による熱損失防止 燃焼式除害装置 燃焼除害装置  ヒーター部断熱による省エ 9.2%
3,600 kWh/ネン
            三洋サンヨウ電機デンキ 丸山マルヤマサマ ######## ########  
05-AE19 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 気・動力・熱変換合理化 真空シンクウポンプ 真空ポンプインバーター制御 50%
1,912 kWh/ネン
            三洋サンヨウ電機デンキ 丸山マルヤマサマ ######## ########  
05-AE20 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 生産合工程合理化 乾燥機カンソウキ 治具乾燥機へのタイマー設置による節電 15%
12,000 kWh/ネン
            三洋サンヨウ電機デンキ 丸山マルヤマサマ ######## ########  
05-AE21 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 放射・伝導等による熱損失防止 ドライエッチング装置ソウチ ベルジャーカバーの設置による節電 50%
19,000 kWh/ネン
            三洋サンヨウ電機デンキ 丸山マルヤマサマ ######## ########  
05-AE22 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 熱・動力変換の合理化 スパッター装置ソウチ クライオコンプレッサーの効率化 39%
322,000 kWh/ネン
            三洋サンヨウ電機デンキ 丸山マルヤマサマ ######## ########  
05-AE23 検査工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 試験シケン装置ソウチ PCテスタ導入と複数個同時測定 90%
258,100 kWh/ネン
      40%
(PCテスタのみ)
    三洋サンヨウ電機デンキ 丸山マルヤマサマ ######## ########  
05-AE24 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) その他 UVキュアー 冷却水のリターン化による純水補給停止       純水ジュンスイ
100%
      三洋サンヨウ電機デンキ 丸山マルヤマサマ ######## ########  
05-AE25 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) その他 純水ジュンスイ供給キョウキュウ 6インチウェハ処理工程純水使用量削減       純水ジュンスイ
21%
      三洋サンヨウ電機デンキ 丸山マルヤマサマ ######## ########  
05-AE26 組立工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) その他 半導体封止装置 圧縮成形によりトランスファ成形装置削除 10%
300kWh/ネン
            富士通フジツウ 五十嵐イガラシサマ ######## ########  
05-AE27 組立工程 材料廃棄エネルギー その他 半導体封止装置 圧縮成形により廃棄原材料削減           廃棄ハイキゲン材料ザイリョウ削減サクゲン   富士通フジツウ 五十嵐イガラシサマ ######## ########  
05-AE28 組立工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) その他 半導体封止装置 圧縮成形により不要部材除去エネルギー削減               富士通フジツウ 五十嵐イガラシサマ ######## ######## ショウエネ削減サクゲンリョウ記載キサイヨウ
05-AE29 組立工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) その他 半導体封止装置 圧縮成形によりゴミ処理エネルギー削減 5%
150kWh/ネン
            富士通フジツウ 五十嵐イガラシサマ ######## ########   電力デンリョク削減サクゲンリョウスクない
05-AE30 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 熱・動力変換の合理化 真空ポンプ ドライポンプ 53%
15,768 kWh/ネン
    ミズ
50%
40%     富士通フジツウ 五十嵐イガラシサマ ######## ########   エネルギー分類ブンルイショウエネホウトウ分類ブンルイ変更ヘンコウ
05-AE31 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) その他 AL ETCH装置ソウチ ドライポンプの省エネルギー施策 56%
15,768 kWh/ネン
    冷却水レイキャクスイ
34%
50%
既存キゾンの1/2
    富士通フジツウ 五十嵐イガラシサマ ######## ########   設備セツビ工程コウテイ区分クブン表示ヒョウジ
05-AE32 検査工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 電気・光変換合理化 LSI用テスタ− システムLSI用テスタ−のショウエネ 22%
0.6KW/ダイ
      30%     富士通フジツウ 五十嵐イガラシサマ ######## ########   電力デンリョク削減サクゲンリョウ単位タンイ明確化メイカクカ。テスター削減サクゲンリョウとしてはスクない。
05-AE33 検査工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 電気・光変換合理化 LSI用テスタ− メモリテスターのショウエネ 4%
3.7KW/ダイ
            富士通フジツウ 五十嵐イガラシサマ ######## ########   電力デンリョク削減サクゲンリョウ単位タンイ明確化メイカクカ。テスター削減サクゲンリョウとしてはスクない。
05-AE34 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 放射・伝導等による熱損失防止 縦型CVD装置 ヒータの省エネ化 30%
20,000 kWh/ネン
            富士通フジツウ 五十嵐イガラシサマ ######## ########  
05-AE35 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) その他 縦型CVD装置 ポンプの回転数制御 8.5%
560kWh/ネン
            富士通フジツウ 五十嵐イガラシサマ ######## ########   ショウエネホウトウ分類ブンルイ変更ヘンコウ。”MBP回転数カイテンスウ制御セイギョあり”ランの0はおかしい?
05-AE36 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 生産合工程合理化 縦型CVD装置 N2消費量削減   N2 3.4%           松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ ######## ########  
05-AE37 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 枚葉洗浄装置 スループット向上による消費電力削減 25%
84,000 kWh/ネン
  25%         松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ ######## ########   設備セツビメイ品番ヒンバンがあるタメ削除サクジョ
05-AE38 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー(排気、放熱など) 気・動力・熱変換合理化 バッチ式洗浄装置 密閉型チャンバーによる排気量削減     90%         松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ ######## ########   設備セツビメイ品番ヒンバンがあるタメ削除サクジョ
05-AE39 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 加熱・冷却・電熱合理化 ランプアニール 加熱方式変更による消費電力削減 75%
657,000 kWh/ネン
            松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ ######## ########   設備セツビメイ品番ヒンバンがあるタメ削除サクジョ
05-AE40 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 CD-SEM CD-SEMの省エネルギー化           ウエハ1枚イチマイ
消費ショウヒ電力デンリョクリョウ36%ゲン
  松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ ######## ########   題目ダイモク品番ヒンバンがあるタメ削除サクジョ
05-AE41 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 検査SEM 検査SEMの省エネルギー化           ウエハ1枚イチマイ
消費ショウヒ電力デンリョクリョウ70%ゲン
  松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ ######## ########   題目ダイモク品番ヒンバンがあるタメ削除サクジョ説明セツメイ文字枠モジワク修正シュウセイ
05-AE42 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 枚様式PECVD装置 PECVD TEOS FSG の電力デンリョク削減サクゲン 15%             松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ ######## ########   題目ダイモク修正シュウセイ
05-AE43 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 枚葉式CVD 装置 HDP-CVD 300mm装置 の電力デンリョク削減サクゲン 6%             松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ ######## ########   設備セツビメイの「300o」削除サクジョ
05-AE44         EMS体制の整備                          
05-AE45         共通プラットホームの推進                          
05-AE46-1 ウエハ処理工程 その他 その他 塗布現像装置 省エネ関連発表資料                          
05-AE46-2 ウエハ処理工程 その他 その他 塗布現像装置 省エネ関連発表資料                          
05-AE46-3 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) その他 ドライエッチング装置と
洗浄装置
省エネ関連発表資料                          
05-AE46-4 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー(排気、放熱など) 放射・伝導等による熱損失防止 拡散炉 省エネ関連発表資料                          
05-AE47-1 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー(排気、放熱など) 放射・伝導等による熱損失防止 拡散炉 省エネ関連発表資料                          
05-AE47-2 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) その他 全般・塗布現像装置・洗浄装置・
拡散炉・ドライエッチング装置
省エネ関連発表資料                          
05-AE48-1 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー(排気、放熱など) 放射・伝導等による熱損失防止 拡散炉 省エネ関連発表資料                          
05-AE48-2 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 放射・伝導等による熱損失防止 全般ゼンパン 省エネ関連発表資料                          
05-AE49 その他 製造装置への供給エネルギー(電力、ガス、水、他) 熱・動力変換の合理化 真空ポンプ メカニカルブースターポンプのDCモータ採用 50%
3,504 kWh/ネン
            松下マツシタ電器デンキ産業サンギョウ 栗山クリヤマサマ ######## ########