SEAJ 生産セイサン装置ソウチ節電セツデンガイド
装置・設備カテゴリー 部位ブイ 消費ショウヒ電力デンリョク 部分ブブン停止テイシ可能カノウ 部分ブブン停止テイシ不可フカ場合バアイ理由リユウ 部分停止に際しての注意事項:
ドライエッチャー
モジュール/コンポーネント
チラー 9.7kWh Particleの影響エイキョウ装置ソウチであれば  
ヒーター 2kWh Particleの影響エイキョウ装置ソウチであれば  
PM Dry-Pump 1.4kWh × 真空シンクウ維持イジ  
TMP 1kWh × 真空シンクウ維持イジ  
System Dry-Pump 0.8kWh    
RF Gen. 0.55kWh    
ジョガイ装置ソウチ 2kWh ヒーター温度オンド可能カノウなら  
縦型拡散・CVD装置 ヒータ 12kW(800℃) △(スタンバイ温度オンドげる) (レシピ時間ジカン増加ゾウカ  
ポンプ 5kW △(スタンバイ回転数カイテンスウ低減テイゲン 回転数カイテンスウ切替キリカエ機能キノウきポンプであること)  
コントローラケイ 4kW × 装置ソウチ完全カンゼン停止テイシのみ停止テイシ可能カノウ  
Laser Power Supply LaserOFF状態 5kVA 可能カノウ※1   ※1:再起動時に30分必要
電源OFF状態(メインブレーカ遮断シャダン 0kVA 可能カノウ※2   ※2:3日以上OFFの場合、GPIによる密閉作業が必要
ステッパ ステッパヨウ温調オンチョウチャンバー スウkWh削減サクゲン 可能カノウ   チャンバーそのものを停止するのではなく、デバイスメーカから供給される水の温度を下げていただく事により、チャンバーを運転する際の電力が恒常的に削減できる。
テスタ 開発用カイハツヨウ小型コガタテスタ おおよそ 1kVA以下イカ × テストプロセッサ(TP)をノコし,本体ホンタイ電源デンゲン切断セツダン出来デキますが、TPのみで実行ジッコウ可能カノウコトコトと、TPは数分スウフン起動キドウ可能カノウなため装置ソウチ全体ゼンタイ電源デンゲンコト推奨スイショウいたします。 半導体テストシステムは、使用しない場合に電源を切断することに問題はありません。
しかし、電源投入後機種によって使用可能となるまでに準備時間が掛かります。
電源投入後、暖機運転、イニシャライズ、後に使用可能となりますが、自己診断プログラムによる正常動作確認を行った後に使用開始する事を推奨致します。
暖機運転は全ての機種で30分以上行ってください。
また、機種、構成によって、消費電力は0.5kVAから50kVA程度、イニシャライズ時間は10分から180分程度、自己診断時間は30分から210分程度と大きく変わる事がありますので、詳細はお問い合わせください。
イニシャライズ時間、自己診断時間はシステムの規模にもよりますが、新しい機種の方が短時間で完了する傾向があります。
量産用リョウサンヨウ小型コガタテスタ おおよそ 1〜20kVA
量産用リョウサンヨウ中型チュウガタテスタ おおよそ20〜40kVA
量産用リョウサンヨウ大型オオガタテスタ おおよそ40kVA以上イジョウ
ウェーハグラインディング装置 ウェーハ供給キョウキュウ/収納部シュウノウブ 装置ソウチ一体イッタイタメ測定ソクテイ不可フカ 不可フカ 停止テイシ場合バアイ装置ソウチ運転ウンテン不可フカタメ  
測定ソクテイ搬送ハンソウ/測定部ソクテイブ 装置ソウチ一体イッタイタメ測定ソクテイ不可フカ 不可フカ 停止テイシ場合バアイ装置ソウチ運転ウンテン不可フカタメ  
ウェーハ搬送ハンソウ 装置ソウチ一体イッタイタメ測定ソクテイ不可フカ 不可フカ 停止テイシ場合バアイ装置ソウチ運転ウンテン不可フカタメ  
加工カコウ部(L) 装置ソウチ一体イッタイタメ測定ソクテイ不可フカ 可能カノウ   部分停止すると、時間単位のウェーハ処理枚数が半減します。
部分停止前後でのウェーハ1枚処理に費やす電力を比較すると、節電効果は期待できずに逆に電力消費量は増えると思われる。
加工カコウ部(R) 装置ソウチ一体イッタイタメ測定ソクテイ不可フカ 可能カノウ  
ウェーハ洗浄部センジョウブ 装置ソウチ一体イッタイタメ測定ソクテイ不可フカ 可能カノウ   ウェーハに加工屑が残留する為、後工程にて別途洗浄処理が必要と思われる。
又、洗浄工程後の吸着ラインの汚れにより、フィルタ等の目詰まりに注意が必要となる。
ウエハー・プローバ チラー 3.0kWh〜5.5KWh 高温コウオン冷凍機レイトウキ停止テイシ:0.8kWh〜5.25kWhの効果コウカ、機種によっては、対応不可  
プローバ 1.5kW〜2kW × タダし、モニタの輝度キドげることにより節電セツデン効果コウカアリ。?〜?W、機種キシュにによっては対応タイオウ不可フカ