SEAJ 一般社団法人 日本半導体製造装置協会
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SEAJ装置制御専門委員会委員推薦のお願い

 SEAJ技術部会のもとで活動してきました「装置制御技術専門委員会」は本年5月9日で2年間の活動を終了いたしました。活動成果として、「装置制御の中長期的な進化の方向性」を提言としました。この成果をベースとして、新しい活動のため再度組織化を行いたいと思います。

  SEAJ技術部会のもとで活動してきました「装置制御技術専門委員会」は本年5月9日で2年間の活動を終了いたしました。活動成果として、「装置制御の中長期的な進化の方向性」を提言としました。この成果をベースとして、新しい活動のため再度組織化を行いたいと思います。
  今後この技術分野の重要性はますます高まると認識しており、委員の改選期を迎えるにあたり、これまでご参加いただいた企業をはじめ、これまで参加いただけなかった関連の製造装置メーカ、搬送装置メーカ、コンポーネントメーカの方々に加わって頂いて活動を充実させて行きたいと考えております。
  つきましては、貴社のご専門の方にご参加をお願い致したくご依頼申し上げる次第です。

   なお、委員登録は継続委員の方も必要となります。ご承知おきください。登録は委員届↓のご提出をお願い申し上げます。                                           SEAJ技術部会長  田中 潔

装置制御技術専門委員会とは

●活動背景

  これまで半導体生産にIT技術を活用するEES(Equipment Engineering System)などを含むe-manufacturingが定着してきた。これがさらに高度化するための装置側の活動として、装置単体の安定稼動や稼働率向上、電力管理に繋がる各種制御を発展させ、工場全体の運営に寄与することを求められている

●活動目的

  半導体製造装置への(IT技術活用動向を中心とした)装置制御技術に関する海外の動向も注視したトレンド収集、検討と発信を行う。またユーザーや関連業界との交流、各種技術講演会を検討、実施する。前委員会の活動テーマを焦点に検討を行うことで今後の方向性を調査・提言する。

●活動内容
 (1)FDC(Fault Detection and Classification)、故障予知など装置品質保証及び維持に関する技術検討
 (2)IoT/M2Mに関連する通信やセンシング、VM(Virtual metrology)、AIなど高度な制御 技術の調査、検討

 (3)上記に関わる装置周辺技術(コンポーネント、各種ソフトウェア)の調査、検討

●委員募集にあたって
  当専門委員会では、活動テーマに関連する装置制御やこれに関わるソフトウェア、コンポーネントの高度化に関心がある方を広く募集しております。
●委員任期
 2017/7 〜 2019/3 会議開催は 1回/1月程度
●推薦方法   

  ↓装置制御専門委員届に参加者、ご承認者氏名(例:窓口様、上長様)等必要事項をご記入いただき、押印の上、配信メールに返信いただくか、件名を「SEAJ装置制御技術専門委員届」として info@seaj.or.jp 宛にお送りください。

●提出期限   2017年6月30日(金)

●提出先   SEAJ 技術部  後藤 宛 FAX:03-3261-8263  E-mail: info@seaj.or.jp

●活動内容に関する問合せ先  SEAJ 技術部 星野 栄一  

               TEL:03-3261-8262  FAX:03-3261-8263

委員推薦依頼詳細 (※ 印刷用) PDFデータ
装置制御専門委員届 WORDデータ
ダウンロード上の注意点>>
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