ブックタイトルセミコンジャパン2016出展特集

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セミコンジャパン2016出展特集

セミコン・ジャパン2016SEAJ Journal 2016. 11 No. 155 19株式会社ニューフレアテクノロジー(5111)■ 営業部■ 〒235-8522 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番1TEL 045-370-8933 FAX 045-370-9936 http://www.nuflare.co.jp■ 出展製品電子ビームマスク描画装置EBM-9500, MBM-1000, SRM-1000マスク検査装置 NPI-8000枚葉式Silicon Epi 装置 HT2000FD枚葉式GaN-on-Si 用MOCVD 装置 EPIREVO TM G8枚葉式SiC Epi 装置 EPIREVO TM S6■ 出展の見どころ高精度・高スループットの7nm/5nm Node 最先端マスク描画装置高生産性と高性能を兼ね備えた最先端マスク検査装置8μm/min の成長速度で≧100μm のエピ膜連続成長が可能なSilicon Epi 装置 HT2000FDGaN パワーデバイスの生産に最適なGaN-on-Si 用MOCVD 装置 EPIREVO TM G8SiC パワーデバイスの低コスト生産を実現する SiC Epi 装置 EPIREVO TM S6理研計器株式会社(5335)■ 東日本営業部営業二課■ 〒174-8744 東京都板橋区小豆沢2- 7- 6TEL 03-3966-1114 FAX 03-3558-0043 http://www.rikenkeiki.co.jp■ 出展製品「スマートタイプガス検知器(GD-70D)」「ポータブルマルチガスモニター(GX-6000)」■ 出展の見どころリスクアセスメント等法改正に対応する機器のご紹介、予防保全に対する最適化のご提案、コストパフォーマンス向上のご案内をいたします。技術そのものではなく、技術の活用方法や今後の方向性についてご提案いたします。株式会社日立ハイテクノロジーズ(5045)日立ハイテクフィールディング、日立ハイテクファインシステムズ、日立ハイテクソリューションズ■ 電子デバイスシステム事業統括本部■ 〒105-8717 東京都港区西新橋一丁目24番14号TEL 03-3504-7111 FAX 03-3504-7123 http://www.hitachi-hitec.com/device/index.html■ 出展製品「新型 測長SEM」「設計データ応用計測システム」「欠陥レビューSEM」「ウェーハ表面検査装置」「エッチング装置」「イオンビームミリング装置」「超音波映像装置」「FIB-SEM 複合装置」「薄膜PZT 技術」「装置サステイナブル ソリューション」他■ 出展の見どころ日立ハイテクグループは、IoT、パワーデバイス向けの各種装置、および、先端シリコンデバイス向けのプロセス装置、計測・検査装置の最新鋭機、アプリケーション技術をご紹介します。最先端電子デバイス製造を実現する日立ハイテクグループのベストソリューションをご提案いたします。スマートタイプガス検知部GD-70D電子ビームマスク描画装置4”~8”マルチウェーハサイズ対応高分解能FEB 測長装置CS4800HALL 5HALL 5HALL 5