ブックタイトルセミコンジャパン2016出展特集

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セミコンジャパン2016出展特集

20 SEAJ Journal 2016. 11 No. 155株式会社SCREEN セミコンダクターソリューションズ(5444)■ 経営戦略統轄部 企画部■ 〒602-8585 京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1- 1TEL 075-417-2527 FAX 075-417-2546 http://www.screen.co.jp/spe■ 出展製品「枚葉式洗浄装置 SU-3300」 「コータ・デベロッパ DT-3000」「レーザーアニール装置 LT-3000/3100」他■ 出展の見どころ世界最高水準の生産性と独自のクリーン化技術を搭載した新枚葉式洗浄装置SU-3300、サブマイクロ秒オーダーでウェーハ表面のみのメルトアニールを実現するレーザーアニール装置LT-3000/3100を紹介。またIoT の拡大で注目されるMEMS センサーや、LED、パワーデバイスなど多様化するデバイスの製造に対応した装置もご紹介します。株式会社フジキン(5608)■ CS・マーケティング本部■ 〒101-0021 東京都千代田区外神田1-18-13 秋葉原ダイビル6FTEL 03-5209-8401 FAX 03-5209-8261 http://www.fujikin.co.jp■ 出展製品①13年連続受賞「超ものづくり部品大賞 機械部品賞」受賞製品 超小型IGS(超小型集積化ガス供給システム)②機差低減バルブ③ LAVS④イーサーキャットFCS⑤ KABO 工具⑥ LS 関連■ 出展の見どころ「超ものづくり部品大賞」13年連続受賞製品を中心に、半導体最先端技術へのご縁の下の力持ちは「FCG」。新コスモス電機株式会社(5411)■ インダストリ営業本部■ 〒532-0036 大阪市淀川区三津屋中2- 5- 4TEL 06-6308-2111 FAX 06-6308-8129 https://www.new-cosmos.co.jp/■ 出展製品「アルシンガス用ガス検知警報器 CLC-870」「環境モニタ COD-203」 他■ 出展の見どころガス警報器の新コスモス電機は「アルシンガス用ガス検知警報器 CLC-870」、「半導体材料ガス検知器XPS-7」と「半導体材料ガス検知部PS-7」、クリーンルーム等の空気環境をモニタリングする環境モニタを展示。その他、半導体製造工場・太陽電池製造工場向けガス検知警報器、各種ガス検知器を出展します。枚葉式洗浄装置SU-3300アルシンガス用ガス検知警報器CLC-870「IoT で“ながれ”を制御」(集積化ガス供給システム)HALL 5HALL 5HALL 5