ブックタイトルセミコンジャパン2016出展特集

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セミコンジャパン2016出展特集

セミコン・ジャパン2016SEAJ Journal 2016. 11 No. 155 21茨城工業高等専門学校■ 電子制御工学科■ 〒312-8508 茨城県ひたちなか市中根866TEL 029-272-5201 FAX 029-271-2813 http://www.ibaraki-ct.ac.jp/■ 出展製品『SiC ウエハの混合砥粒砥石を用いたELID 研削加工特性』ELID ラップ研削機説明模型、SiC ウエハ加工サンプル■ 出展の見どころELID 研削法とはメタルボンド砥石表面を電解しながら研削を行う加工であり、電解によるドレッシング効果により微細砥粒砥石においても高品位な加工が可能となっている。導電性ラバーボンド砥石では、電解によって砥石表面に酸化架橋反応が生じ硬化することで砥粒が保持され、さらにボンド材のラバーの弾性効果により、よく切れる磨き加工が可能となっている。本報告では、導電性ラバーボンド砥石の砥粒として破砕性のよいWA 砥粒を適用し、混合砥粒砥石による2"SiC ウエハのELIDラップ研削加工特性についてご紹介いたします。阿南工業高等専門学校■ 電気電子工学科■ 〒774-0017 徳島県阿南市見能林町青木265TEL 0884-23-7100 FAX 0884-22-5424 http://www.anan-nct.ac.jp/■ 出展製品タッチパネルLED ディスプレイ、新型トランジスタ「ダイスター」を用いた応用機器■ 出展の見どころLED の光センサ機能を用いて、位置検出素子を用いずLED のみでタッチパネル動作できるフルカラーLED ディスプレイを出展します。さらに、LED と太陽電池やフォトダイオードを密着させることで、接合型トランジスタと同等の増幅作用を持つ新型トランジスタ(ダイスター)を用いたオーディオアンプ、調光器なども出展します。4“Si ウエハ Ra5.0nmタッチパネルLED ディスプレイHALL 1HALL 1HALL 1宇部工業高等専門学校■ 機械工学科■ 〒755-8555 山口県宇部市常盤台2丁目14番1号TEL 083-35-4596 FAX 083-35-4596 www.ube-k.ac.jp/■ 出展製品濡れ性こう配を有する機能性伝熱面■ 出展の見どころMEMS 技術による伝熱面の機能化によって相変化伝熱の促進に関する研究に取り組んでいます。具体的には濡れ性こう配による機能化によって相変化伝熱促進を実現するものであり、現在製作中のデバイスを紹介するとともに、その熱輸送特性及び流動特性を評価した結果について発表します。The 高専た伝熱面5mm機能化した伝熱面