ブックタイトルセミコンジャパン2016出展特集

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セミコンジャパン2016出展特集

セミコン・ジャパン2016SEAJ Journal 2016. 11 No. 155 17株式会社島津製作所(4829)■ 産業機械事業部 事業企画部■ 〒604-8551 京都市中京区西ノ京桑原町1TEL 075-823-1594 FAX 075-823-3684 http://www.shimadzu.co.jp/industry/■ 出展製品ターボ分子ポンプ、真空関連機器■ 出展の見どころ半導体・フラットパネルディスプレイ・タッチパネル等の製造に不可欠なターボ分子ポンプをはじめ、漏れ検査装置ヘリウムリークディテクタ等の真空関連機器をご紹介いたします。株式会社ニコン(4845)■ 半導体装置事業部 マーケティング部■ 〒108-6290 東京都港区港南2-15- 3 品川インターシティC 棟TEL 03-6433-3639 FAX 03-6433-3759 http://www.nikon.co.jp/pec/■ 出展製品半導体露光装置 他■ 出展の見どころニコン及びニコングループ(ニコンテック、ニコンインステック、ニコンシステム、ニコンエンジニアリング)より半導体関連機器を出展。半導体露光装置、半導体検査装置、超高分解能三次元表面形状計測システムなど最新の技術や関連製品、メンテナンスサービスを実機、パネル展示、VTR にて紹介。株式会社荏原製作所/株式会社荏原フィールドテック(4744)■ 精密・電子事業カンパニー 営業統括部■ 〒251-8502 神奈川県藤沢市本藤沢4- 2- 1TEL 0466-83-9000 FAX 0466-83-8883 http://www.ebara.co.jp■ 出展製品ドライ真空ポンプ(ESA 型、EV-A10型、EV-L 型、EV-M 型、EV-SA 型、EV-S 型、PDV 型)、排ガス処理装置(G 5型、G 6型、ドライ真空ポンプ+ 排ガス処理装置一体型システム)、CMP 装置、実装めっき装置、べベル研磨装置、オゾン水製造装置■ 出展の見どころ更なる進化を遂げた小形・省エネタイプの空冷型・水冷型ドライ真空ポンプ、温室効果ガスと可燃性ガスの一括処理を可能にした排ガス処理装置や半導体の超微細化を可能にする最先端CMP 装置、Fan-out 技術も含めたパッケージ革新を可能にするめっき装置、イールド改善のカギとなるべベル研磨装置などのパネル展示を行います。ArF 液浸スキャナーNSR-S631Eターボ分子ポンプHALL 4HALL 4HALL 4ドライ真空ポンプ