ブックタイトルセミコンジャパン2017出展特集

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セミコンジャパン2017出展特集

セミコン・ジャパン2017SEAJ Journal 2017. 11 No. 159 15イーグル工業株式会社(5232)■ SI 事業企画部■ 〒105-8587 東京都港区芝公園2- 4- 1 芝パークビルB 館14階TEL 03-3438-2394 FAX 03-3438-2370 http://www.ekkeagle.com■ 出展製品磁性流体真空シール、溶接ベローズ、ロータリージョイントゴム製品: KalrezR(Dupont 社製)・高機能ふっ素ゴム スペリア■ 出展の見どころ半導体製造工程における、様々な製造プロセス装置に対し、お客様の要求に合わせて最適なシール方法をご提案致します。半導体・液晶パネル・有機EL パネル・太陽電池パネル・LED 等の製造装置をはじめ、産業機器分析機器、クリーンロボットなど、あらゆる産業分野で使用され、高性能、高信頼性のシールとして評価されている、イーグル工業の磁性流体シールを是非ご覧ください。株式会社ニコン(5245)■ 半導体装置事業部 事業企画部■ 〒108-6290 東京都港区港南2-15- 3 品川インターシティC 棟TEL 03-6433-3630 FAX 03-6433-3759 http://www.nikon.co.jp/■ 出展製品半導体露光装置 他■ 出展の見どころニコン及びニコングループ(ニコンテック、ニコンインステック、ニコンシステム、ニコンエンジニアリング)より半導体関連機器を出展。半導体露光装置、半導体検査装置、超高分解能表面形状計測システムなど最新の技術や関連製品、メンテナンスサービスを実機、パネル展示、VTR で紹介。株式会社日立ハイテクノロジーズ(5045)日立ハイテクフィールディング、日立ハイテクファインシステムズ、日立ハイテクソリューションズ■ 電子デバイスシステム事業統括本部■ 〒105-8717 東京都港区西新橋一丁目24番14号TEL 03-3504-7111 FAX 03-3504-7123 http://www.hitachi-hitec.com/device/index.html■ 出展製品「エッチング装置」「高分解能 FEB 測長装置」「欠陥レビュー SEM」「ウェーハ表面検査装置」「イオンビームミリング装置」他■ 出展の見どころ社会の省電力化に大きく貢献するSiC・GaN パワーデバイスの開発・製造の最大の課題はウェーハ品質とコストです。日立ハイテクグループは、ウェーハの結晶欠陥並びに加工ダメージの非破壊検査を実現する新しいコンセプトの検査装置「ミラー電子式検査装置Mirelis VM1000」を製品化致しました。Ar F液浸スキャナーNSR-S631E磁性流体真空シール結晶欠陥画像HALL 5HALL 5HALL 5