ブックタイトルセミコンジャパン2017出展特集

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セミコンジャパン2017出展特集

12 SEAJ Journal 2017. 11 No. 159株式会社荏原製作所/株式会社荏原フィールドテック(4344)■ 精密・電子事業カンパニー 営業統括部■ 〒251-8502 神奈川県藤沢市本藤沢4- 2- 1TEL 0466-83-9000 FAX 0466-83-8883 http://www.ebara.co.jp■ 出展製品ドライ真空ポンプ(ESA 型、EV-A10型、EV-L 型、EV-M 型、EV-SA 型、EV-S 型、PDV 型)、排ガス処理装置(G5型、ドライ真空ポンプ+ 排ガス処理装置一体型システム)、CMP装置、実装めっき装置、べベル研磨装置、オゾン水製造装置■ 出展の見どころ更なる進化を遂げた小形・省エネタイプの空冷型・水冷型ドライ真空ポンプ、温室効果ガスと可燃性ガスの一括処理を可能にした排ガス処理装置や半導体の超微細化を可能にする最先端CMP 装置、Fan-out 技術も含めたパッケージ革新を可能にするめっき装置、イールド改善のカギとなるべベル研磨装置などの展示を行います。VAT 株式会社(4409)■ ストラテジックマーケティング■ 〒221-0056 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7FTEL 045-440-0341 FAX 045-440-0342 http://www.vatvalve.com■ 出展製品マルチバルブモジュールコントロールアングルバルブ■ 出展の見どころSEMICON 2017 弊社ブースでは最新のバルブが搭載されているマルチバルブモジュールを通して、製造装置内における実際のバルブの動きが確認できます。また、コントロールアングルバルブは高温、高圧での圧力制御および真空封止用バルブとして最適です。ご多用中とは存じますが、是非この機会にご来場の上、弊社ブースにお立ち寄り下さい。心よりお待ちしております。東横化学株式会社(4321)■ 本社営業部■ 〒211-8502 神奈川県川崎市中原区市ノ坪370TEL 044-435-5858 FAX 044-433-5332 http://www.toyokokagaku.co.jp/■ 出展製品・SiC パワーデバイス熱処理装置・漏液センサ・液種判別センサ・He/Ar 回収装置 ・液体材料供給装置■ 出展の見どころ弊社はトータルガスマネジメントのコンセプトに基づき、ガスの入り口から出口までお客様のニーズに合わせた製品とシステムを国内外に提供しております。装置関連ではSiC パワーデバイス熱処理装置のパネル展示、機器関連では液種判別・漏液センサの実機展示もございます。是非お立ち寄りください。ドライ真空ポンプコントロールアングルバルブSiCパワーデバイス熱処理装置HALL 4HALL 4HALL 4