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セミコン West 2017

セミコンウエスト201724 SEAJ Journal 2017. 8 No. 158SEMI によると、地域別では2017年の市場を牽引するのは韓国で、台湾を抜いて最大市場となる。18年の半導体製造装置市場のドライバは中国で、目下、31の半導体工場建設計画があり、17年中に建設開始予定が15工場、他にも、3工場で装置の入れ替えや増強が行われている。SEMI の予想によると、2018年の中国の半導体製造装置市場は前年比61%成長し、台湾を上回り、韓国に次ぐ世界2位市場になる模様である。半導体製造装置市場は、中国市場がドライバとなって、2018年以降も成長し続けよう。ただし、中国の半導体工場は歩留りの改善に苦労しており、また、シリコンウェーハの確保ができるか不透明なために、本格的な設備投資が2019年以降にずれ込む可能性もある。絶好調に見える半導体製造装置市場であるが、一部では調整も見られている。台湾最大手ファウンドリが装置の発注を数か月遅らせている。背景には、最先端のスマホの売上見通しの下方修正や、先端プロセスの開発苦戦などがある模様である。ただし、装置メーカー、部材メーカーは、一時的な発注の遅延であるとの見方を示していた。台湾ファウンドリ以外は概ね設備投資に積極的である。大幅な需要超過によって16年の最安値から価格が2倍前後になっているメモリはもちろんのこと、先端プロセス開発で苦戦しているMPU も、17年はサーバー向けなどに設備投資を大幅に増加させる模様である。3. 市場のテーマはIoT とAI の熱核融合現在、半導体製造装置市場の成長を牽引しているのは3D-NAND であり、巨大な3D-NAND 需要を生み出しているのは、急速に進むサーバーのフラッシュメモリ化である。あらゆる電子機器がインターネットにつながり、センサで取得したデータを吸い上げるIoT の浸透で、多数のデジタルデータが生成・収集されているが、これらのデータを解析し活用するためのAI の性能が、近年飛躍的に進化している。AI の性能を向上させるためのディープラーニングの質は、ビッグデータの量によって左右されるため、目下、AI 関連企業はビッグデータの溜め込み競争を行っている。そのため、サーバー需要がますます増加している。IoT の浸透によって、電子機器に搭載されるセンサやRF( 高周波) など、非先端デバイスの需要が急拡大しており、半導体製造装置も、非先端の装置の需要が増加している。日立国際電気及びSCREEN ホールディングスからは、8インチ用の半導体製造装置が新たに発売されていた。最新技術を盛り込んだことで、かつて取り扱っていた8インチ装置に比べて、スループット、フットプリントが大幅に改善している。サーバー需要の増大で、サーバーの消費電力は、微細化と高集積化以外の技術革新が存在せず、HDD をストレージとして使用し続けた場合、我々の推定では、2030年には現在の日本の全消費電力の2倍程度になるため、省電力化が強く求められている。サーバーの省電力化技術として期待されているのが、サーバーのAll Flash 化、Storage ClassMemory(SCM)の導入、AI チップの使用である。我々の推定では、オンラインサーバーがAll Flash 化するだけで、300mm ウェーハの処理能力で月5万枚の大型工場が17年以降、18工場稼働する必要があるが、フラッシュメモリメーカーの現在の投資計画をすべて合わせても18年中に稼働するのはその半分程度であり、当面はフラッシュメモリの供給不足の状態が続くと考えられる。特に需要の増加が期待できるのはエッチング装置であり、東京エレクトロンが11日に開催した説明会では、2D のフラッシュメモリでは、設備投資の15%弱に過ぎなかったエッチング装置の割合が、3D-NAND では2019年に同比率が50%程度になるとの見通しが示された。東京エレクトロンは生産シフト、工場の拡張など、増産に追われている。SCM は、フラッシュメモリとDRAM のスピードのギャップを埋めることで、サーバーのパフォーマンスを向上させる効果が期待できるメモリである。Intel がSCM に使用されるX-Point メモリの量産にめどをつけたことで、AppliedMaterials のセミナーや、Semicon West の出展社の間で、当メモリへの期待が語られていた。X-Point メモリはDRAM により近い性能を持っており、DRAM と組み合わせて、サーバーのメインメモリに使用される可能性が高い。X-Point メモリの導入で、サーバーのメインメモリの領域を10倍に拡大することが可能で、かつ、図表1 3D X-point の位置づけ出所: 野村記憶密度スピード1 ×10,000,000×100 ×1,000,000×1,000 ×100,000×1,000 ×100×10,000 1SRAMDRAM3D X-PointNAND FlashHDD