一般社団法人日本半導体製造装置協会／半導体製造装置用語辞典（第6版）

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半導体製造装置用語辞典（第6版）

半導体製造装置用語辞典? 新版（第6版）が完成致しました。
新語215語を追加し、総収録語数2851語となりました。

(社)日本半導体製造装置協会編
発行：日刊工業新聞社
サイズ：Ａ5判
総頁数：564頁
定価（消費税込・送料別）：一般価格 4,700円 / 会員価格 4,500円