2012年度より年4回発行、

統計、半導体関連産業動向、技術動向等を掲載。
発行：（社）日本半導体製造装置協会
体裁：A4版・平均65頁（最新号2012年3月15日発行）
定価：2,500円（消費税込・送料別）

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