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基板製造用装置 - 基板洗浄
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基板洗浄
ガラス基板上にゴミ(パーティクル)や汚染(有機物などによる汚れ)があると工程で不良の大きな発生原因になります。洗浄では、ブラシや薬品を使ってこれらを除去することを目的に行われる工程です。


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