SEAJ 一般社団法人 日本半導体製造装置協会
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半導体/FPDってなに?
カラーフィルタ製造用装置
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ブラックマトリクス形成
  黒色レジストを使い格子状やストライプ状のパターンをフォトリソグラフィーにより形成します。


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アレイ回路完成

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着色パターン形成
カラーレジストを使い塗布、露光、現像する工程を3回繰り返して赤,緑,青のパターンを形成します。

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保護膜形成
  着色パターンを保護するため、透明樹脂材料を塗布、硬化し形成します。

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透明電極形成
液晶を駆動するために透明導電膜をスパッタリングにより形成します。


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配向膜塗布


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