SEAJ 一般社団法人 日本半導体製造装置協会
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装置種別・関連企業
半導体設計用装置 - 回路設計・パターン設計
パターン入力装置,プロッタ,エンジニアリングワークステーション,論理シミュレータ,回路シミュレータ,各種計測用機器,ロジックアナライザ

東京エレクトロン株式会社

マスクレチクル用製造装置 - フォトマスク作成
1. フォトリソ工程装置(電子ビーム描画装置,レーザ描画装置,パタンジェネレータ,コンタクトプリンタ,フォトリピータ,塗布装置,レジスト剥離装置現像・ベーキング・ディスカム装置)
2. 薄膜形成・エッチング・洗浄乾燥装置(真空蒸着装置,スパッタリング装置,CVD装置,洗浄装置,エッチング装置,乾燥装置,スクラブ洗浄装置)
3. 検査評価装置・その他製造装置(欠陥検査装置,欠陥修正装置,マスク異物検査装置,外観検査装置)

 

アプライドマテリアルズジャパン株式会社
株式会社アルバック
ウシオ電機株式会社
株式会社クレセン
芝浦メカトロニクス株式会社
大日本スクリーン製造株式会社
日本電子株式会社
株式会社ニューフレアテクノロジー
株式会社堀場製作所    

      
ウェーハ製造用装置 - ウェーハ製造
1. 単結晶製造装置(単結晶引き上げ装置)
2. ウェーハ加工装置(切断装置,ラッピング装置,ポリッシング装置,研削装置,ウェーハマーキング装置)
3. 検査評価装置・その他製造装置(ライフタイム測定器,結晶欠陥測定装置,加工検査装置,各種計測用装置

株式会社岡本工作機械製作所
芝浦メカトロニクス株式会社
セミツール・ジャパン株式会社
株式会社ディスコ
株式会社東京精密
株式会社日立ハイテクノロジーズ

ウェーハプロセス用処理装置 - 素子形成(ウェーハプロセス)・電極形成/ウェーハ検査
1. 露光・描画装置(コンタクトプロキシミティ露光装置,投影露光装置(等倍、縮小),電子ビーム露光装置)
2. レジスト処理装置(塗布装置,現像装置,レジスト剥離装置,ベーキング装置,レジスト安定化装置,ウェーハ周辺露光装置)
3. エッチング装置(ドライエッチング装置)
4. 洗浄・乾燥装置(ウェットエッチング装置,乾式洗浄装置,湿式洗浄装置,スクラブ洗浄装置,乾燥装置,高圧噴射洗浄装置)
5. 熱処理装置(酸化装置,拡散装置,アニール装置)
6. イオン注入装置(大電流イオン注入装置,中電流イオン注入装置,高エネルギーイオン注入装置)
7. 薄膜形成装置(7-1 CVD装置:常圧CVD装置,SACVD,減圧CVD装置,プラズマCVD装置,MOCVD装置、7-2 スパッタリング装置:スパッタリング装置、7-3 その他薄膜形成装置:真空蒸着装置,シリコンエピタキシャル成長装置,化合物半導体エピタキシャル装置,めっき装置)
8. 検査評価装置(外観検査装置,異物検査装置,ダストカウンタ,測長SEM,膜厚計,反射率測定機,オージェ電子分光装置,赤外分光光度計,シート抵抗測定器,ライフタイム測定機,その他各種計測・分析用装置)
9. CMP装置(CMP装置,CMP用洗浄装置)
10. その他処理装置(ウェーハマーキング装置,マーク読み取り装置,裏面研削盤,バンプめっき装置,バックグラインダ用テープ貼付機,バックグラインダ、バックグラインダ用テープ剥離機)

組立用装置 - 組み立て
1. ダイシング装置(スクライビング装置,ダイシング装置,ウェーハマウンティング装置)
2. ボンディング装置(ダイボンディング装置,ハイブリッドボンディング装置,ワイヤボンディング装置,インナリードボンディング装置,アウタリードボンディング装置,フリップチップボンディング装置)
3. パッケージング装置(モールド装置,バリ取り装置,封止用加熱炉,半田処理装置,半田ボールマウンティング装置 ,リード加工機,マーキング装置)
4. 検査評価装置・その他組立装置(外観検査装置,密封度試験装置,ボンドプルテスタ,X線検査装置,リード外観検査装置,各種計測用機器

検査用装置 - 試験/検査・マーキング
1. テスティング装置(1-1 SOC&Logicテスティング装置:ロジックテストシステム,ASICベリフィケーション装置、リニアテストシステム,ミックスドシグナルテストシステム,アナログテストシステム、トランジスタテストシステム,LEDテストシステム,イメージセンサテストシステム,電子ビームテスティング装置,レーザビームテスティング装置,個別半導体テストシステム,ACパラメトリックテストシステム、1-2 メモリテスティング装置:メモリテストシステム)
2. プロービング装置(プローバ)
3. ハンドラ(ハンドラ)
4. エージング装置(エージング装置,バーンイン装置,IC挿入装置,IC抜取装置)
5. その他検査装置(冷熱試験装置,温・湿試験装置,衝撃試験装置,プレッシャクッカ装置,リーク検査装置,レーザプロセッシングシステム,振動試験装置,各種寿命試験装置,波形分析機,各種計測用機器)

株式会社アドバンテスト
アナログ・デバイセズ株式会社
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
株式会社エリオニクス
株式会社シバソク
ズース・マイクロテック株式会社
株式会社テセック
テラダイン株式会社
東京エレクトロン株式会社
株式会社東京精密
株式会社日本マイクロニクス
浜松ホトニクス株式会社
横河電機株式会社
レーザーテック株式会社

半導体製造装置用関連装置
1. 各種搬送装置(工程内ウェーハ搬送装置,工程間ウェーハ搬送装置, ストッカー)
2. 純水・薬液装置(純水製造装置,限外ろ過装置,逆浸透装置,滅菌装置,薬品供給装置,スラリー供給装置,薬品純化装置,廃液処理装置)
3. 各種ガス装置(ガス発生装置,ガス純化装置,ガス混合装置,ガス検知装置,排ガス処理装置)
4. クリーンルーム装置(クリーンベンチ,クリーントンネル,サーマルチャンバ,環境試験室,エアシャワー,パスボックス)
5. その他製造関連装置(各種制御装置,各種集中監視装置,各種治具洗浄・乾燥装置,流量制御用機器,各種テーピング装置,各種包装装置,液体用・各種ガス用計測用機器および各種分析用機器)

アドバンスドエナジージャパン株式会社
株式会社アルバック
ウシオ電機株式会社
株式会社クレセン
株式会社島津製作所
住友精密工業株式会社
セミツール・ジャパン株式会社
株式会社日立プラントテクノロジー
リンテック株式会社



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