SEAJ 一般社団法人 日本半導体製造装置協会
TOPEnglish 会員専用
統計資料
FPD製造装置分類表
TOP>FPD製造装置分類表

FPD製造装置分類表 2006年5月2日作成

大分類 小分類・細分類 装置・機器例
A 液晶パネル設計用装置 1 CAD/CAM用装置 パターン入力装置、プロッタ、エンジニアリングワークステーション
B マスク・レチクル製造用装置 1 描画装置 描画装置
2 レジスト処理装置 塗布装置、現像装置、剥離装置、ベーキング装置
3 薄膜形成・エッチング・洗浄・乾燥装置 スパッタリング装置、蒸着装置、エッチング装置、洗浄・乾燥装置
4 検査評価用装置・その他 マスク・レチクル欠陥検査装置、欠陥修正装置、異物検査装置、その他
C 基板製造用装置 1 基板加工装置 切断・面取り・研磨装置
2 基板成膜装置 コーティンク装置、ITO成膜装置
3 洗浄・乾燥装置 洗浄装置、乾燥装置
4 熱処理装置 熱処理装置
5 検査評価用装置・その他 分光透過率測定器、色度測定器、膜厚測定器、外観表面検査装置、異物検査装置、光学試験器、うねり・粗さ測定器、その他
D アレイ製造用装置 1 PVD装置 スパッタリング装置、蒸着装置
2 CVD装置 プラズマCVD装置、減圧CVD装置、常圧CVD装置
3 陽極酸化装置 陽極酸化装置
4 露光装置 レンズ投影露光装置、ミラープロジェクション露光装置、コンタクト・プロキシミティ露光装置
5 レジスト処理装置 塗布装置、現像装置、アッシング装置、ベーキング装置、剥離装置
6 エッチング装置 ウェットエッチング装置、ドライエッチング装置
7 洗浄・乾燥装置 洗浄装置、乾燥装置
8 熱処理装置 酸化装置、アニーリング装置、レーザアニ−リング装置
9 ドーピング装置 イオン注入装置、イオンシャワー装置、イオンドーピング装置、プラズマドーピング装置、レーザドーピング装置
10 検査評価用装置・その他 各種分析器、膜厚測定器、外観表面検査装置、異物検査装置、バスライン検査装置、その他
E カラーフィルタおよびタッチセンサー製造用装置 1 露光装置 レンズ投影露光装置、ミラープロジェクション露光装置、製造用装置コンタクト・プロキシミティ露光装置
2 レジスト処理装置 塗布装置、現像装置、剥離装置、ベーキング装置
3 薄膜形成・エッチング・洗浄・乾燥装置 スパッタリング装置、蒸着装置、エッチング装置、洗浄・乾燥装置
4 着色パターン形成装置 印刷プロセス装置、電着プロセス装置、染色プロセス装置、顔料分散プロセス装置
5 検査評価用装置・その他 各種分析器(分光・解像・平坦特性等)、膜厚寸法測定器、外観表面検査装置、異物検査装置、その他
F セル製造用装置 1 配向膜形成装置 ディップ塗布装置、スクリーン印刷装置、凹版印刷装置
2 焼成・乾燥装置 クリーンオーブン、コンベアオーブン
3 ラビング装置 ラビング装置
4 シール印刷装置 スクリーン印刷装置
5 スペーサ散布装置 スペーサ散布装置
6 基板貼合わせ装置 基板貼合わせ装置(カラーフィルタおよびタッチパネルを含む)
7 液晶注入装置 真空注入装置、液晶滴下装置、封止装置
8 洗浄・乾燥装置 洗浄装置、乾燥装置
9 セル分断装置 スクライブブレーク装置
10 偏光板貼付け装置 偏光板・光反射板貼付け装置
11 検査評価用装置・その他 配向性検査装置、透過光強度試験装置、パネル欠陥修正装置、バーンイン装置、その他
J モジュール製造用装置
※統計集計上はH分類に含める。
1 モジュール製造用装置 ACF貼付け装置・TAB実装(搭載)装置・COG実装(搭載)装置・COF実装(搭載)装置・PCB実装(搭載)装置
G 検査用装置 1 電気試験装置 点灯表示部欠陥検査装置
2 機能検査装置 透過光強度試験装置、視覚特性試験器、カラー表示品位評価装置
3 エージング装置 エージング装置
4 検査用各種装置 冷熱試験装置、温・湿試験装置、衝撃試験装置、各種寿命試験装置、振動試験装置
5 プロービング装置 プローバ
6 リペア装置・その他 レーザリペア装置、トリミング装置、その他
H 液晶パネル製造装置用関連装置 1 各種搬送用装置 基板搬送装置、積載装置、ローダ、アンローダ、搬送制御システム
2 純水・薬液用装置 純水製造装置、濾過装置、逆浸透装置、滅菌装置、薬液供給装置、排液処理装置、薬液制御システム、安全システム
3 各種ガス用装置 ガス供給装置、ガス純化・混合装置、検知装置、排ガス処理装置、ガス制御システム、安全システム
4 クリーンルーム用装置 クリーンベンチ、クリーンドラフト、サーモチャンバ、環境試験室
5 その他の装置 各種制御装置、各種集中監視装置、各種治具洗浄・乾燥装置、各種包装装置、液体・ガス用各種測定器及び分析機器、流量制御機器、その他
I 液晶パネル製造装置以外のFPD製造装置 1 有EL/PDP/FED/リアプロジェクション用装置 蒸着装置、インクジェット装置、印刷装置、封止装置、焼結装置、洗浄装置



個人情報保護方針サイトマップお問い合わせ