(2015年4月1日作成)
| 大分類 | 小分類・細分類 | 装置・機器例 | ||
|---|---|---|---|---|
| A | 液晶パネル設計用装置 | 1 | CAD/CAM用装置 | パターン入力装置、プロッタ、エンジニアリングワークステーション |
| B | マスク・レチクル製造用装置 | 1 | 描画装置 | 描画装置 |
| 2 | レジスト処理装置 | 塗布装置、現像装置、剥離装置、ベーキング装置 | ||
| 3 | 薄膜形成・エッチング・洗浄・乾燥装置 | スパッタリング装置、蒸着装置、エッチング装置、洗浄・乾燥装置 | ||
| 4 | 検査評価用装置・その他 | マスク・レチクル欠陥検査装置、欠陥修正装置、異物検査装置、その他 | ||
| C | 基板製造用装置 | 1 | 基板加工装置 | 切断・面取り・研磨装置 |
| 2 | 基板成膜装置 | コーティンク装置、ITO成膜装置 | ||
| 3 | 洗浄・乾燥装置 | 洗浄装置、乾燥装置 | ||
| 4 | 熱処理装置 | 熱処理装置 | ||
| 5 | 検査評価用装置・その他 | 分光透過率測定器、色度測定器、膜厚測定器、外観表面検査装置、 異物検査装置、光学試験器、うねり・粗さ測定器、その他 |
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| D | アレイ製造用装置 | 1 | PVD装置 | スパッタリング装置、蒸着装置 |
| 2 | CVD装置 | プラズマCVD装置、減圧CVD装置、常圧CVD装置 | ||
| 3 | 陽極酸化装置 | 陽極酸化装置 | ||
| 4 | 露光装置 | レンズ投影露光装置、ミラープロジェクション露光装置、 コンタクト・プロキシミティ露光装置 |
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| 5 | レジスト処理装置 | 塗布装置、現像装置、アッシング装置、 ベーキング装置、剥離装置 |
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| 6 | エッチング装置 | ウェットエッチング装置、ドライエッチング装置 | ||
| 7 | 洗浄・乾燥装置 | 洗浄装置、乾燥装置 | ||
| 8 | 熱処理装置 | 酸化装置、アニーリング装置、レーザアニ-リング装置 | ||
| 9 | ドーピング装置 | イオン注入装置、イオンシャワー装置、 イオンドーピング装置、プラズマドーピング装置、 レーザドーピング装置 |
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| 10 | 検査評価用装置・その他 | 各種分析器、膜厚測定器、外観表面検査装置、 異物検査装置、バスライン検査装置、その他 |
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| E | カラーフィルタ およびタッチセンサー製造用装置 |
1 | 露光装置 | レンズ投影露光装置、ミラープロジェクション露光装置、 製造用装置コンタクト・プロキシミティ露光装置 |
| 2 | レジスト処理装置 | 塗布装置、現像装置、剥離装置、ベーキング装置 | ||
| 3 | 薄膜形成・エッチング・洗浄・乾燥装置 | スパッタリング装置、蒸着装置、エッチング装置、 洗浄・乾燥装置 |
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| 4 | 着色パターン形成装置 | 印刷プロセス装置、電着プロセス装置、 染色プロセス装置、顔料分散プロセス装置 |
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| 5 | 検査評価用装置・その他 | 各種分析器(分光・解像・平坦特性等)、 膜厚寸法測定器、外観表面検査装置、 異物検査装置、その他 |
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| F | セル製造用装置 | 1 | 配向膜形成装置 | ディップ塗布装置、スクリーン印刷装置、凹版印刷装置 |
| 2 | 焼成・乾燥装置 | クリーンオーブン、コンベアオーブン | ||
| 3 | ラビング装置 | ラビング装置 | ||
| 4 | シール印刷装置 | スクリーン印刷装置 | ||
| 5 | スペーサ散布装置 | スペーサ散布装置 | ||
| 6 | 基板貼合わせ装置 | 基板貼合わせ装置(カラーフィルタおよびタッチパネルを含む) | ||
| 7 | 液晶注入装置 | 真空注入装置、液晶滴下装置、封止装置 | ||
| 8 | 洗浄・乾燥装置 | 洗浄装置、乾燥装置 | ||
| 9 | セル分断装置 | スクライブブレーク装置 | ||
| 10 | 偏光板貼付け装置 | 偏光板・光反射板貼付け装置 | ||
| 11 | 検査評価用装置・その他 | 配向性検査装置、透過光強度試験装置、 パネル欠陥修正装置、バーンイン装置、その他 |
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| J | モジュール製造用装置 ※統計集計上はH分類に含める。 |
1 | モジュール製造用装置 | ACF貼付け装置・TAB実装(搭載)装置、 COG実装(搭載)装置、COF実装(搭載)装置、 PCB実装(搭載)装置 |
| G | 検査用装置 | 1 | 電気試験装置 | 点灯表示部欠陥検査装置 |
| 2 | 機能検査装置 | 透過光強度試験装置、視覚特性試験器、 カラー表示品位評価装置 |
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| 3 | エージング装置 | エージング装置 | ||
| 4 | 検査用各種装置 | 冷熱試験装置、温・湿試験装置、衝撃試験装置、 各種寿命試験装置、振動試験装置 |
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| 5 | プロービング装置 | プローバ | ||
| 6 | リペア装置・その他 | レーザリペア装置、トリミング装置、その他 | ||
| H | 液晶パネル製造装置用関連装置 | 1 | 各種搬送用装置 | 基板搬送装置、積載装置、ローダ、アンローダ、 搬送制御システム |
| 2 | 純水・薬液用装置 | 純水製造装置、濾過装置、逆浸透装置、滅菌装置、 薬液供給装置、排液処理装置、 薬液制御システム、安全システム |
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| 3 | 各種ガス用装置 | ガス供給装置、ガス純化・混合装置、検知装置、 排ガス処理装置、ガス制御システム、安全システム |
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| 4 | クリーンルーム用装置 | クリーンベンチ、クリーンドラフト、 サーモチャンバ、環境試験室 |
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| 5 | その他の装置 | 各種制御装置、各種集中監視装置、 各種治具洗浄・乾燥装置、各種包装装置、 液体・ガス用各種測定器及び分析機器、 流量制御機器、その他 |
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| I | 液晶パネル製造装置以外のFPD製造装置 | 1 | 有機EL/PDP/FED/リアプロジェクション用装置 | 蒸着装置、インクジェット装置、 印刷装置、封止装置、焼結装置、洗浄装置 |