| 大分類 |
小分類・細分類 |
装置・機器例 |
| A |
液晶パネル設計用装置 |
1 |
ＣＡＤ/ＣＡＭ用装置 |
パターン入力装置、プロッタ、エンジニアリングワークステーション |
| B |
マスク・レチクル製造用装置 |
1 |
描画装置 |
描画装置 |
| 2 |
レジスト処理装置 |
塗布装置、現像装置、剥離装置、ベーキング装置 |
| 3 |
薄膜形成・エッチング・洗浄・乾燥装置 |
スパッタリング装置、蒸着装置、エッチング装置、洗浄・乾燥装置 |
| 4 |
検査評価用装置・その他 |
マスク・レチクル欠陥検査装置、欠陥修正装置、異物検査装置、その他 |
| C |
基板製造用装置 |
1 |
基板加工装置 |
切断・面取り・研磨装置 |
| 2 |
基板成膜装置 |
コーティンク装置、ＩＴＯ成膜装置 |
| 3 |
洗浄・乾燥装置 |
洗浄装置、乾燥装置 |
| 4 |
熱処理装置 |
熱処理装置 |
| 5 |
検査評価用装置・その他 |
分光透過率測定器、色度測定器、膜厚測定器、外観表面検査装置、異物検査装置、光学試験器、うねり・粗さ測定器、その他 |
| D |
アレイ製造用装置 |
1 |
ＰＶＤ装置 |
スパッタリング装置、蒸着装置 |
| 2 |
ＣＶＤ装置 |
プラズマＣＶＤ装置、減圧ＣＶＤ装置、常圧ＣＶＤ装置 |
| 3 |
陽極酸化装置 |
陽極酸化装置 |
| 4 |
露光装置 |
レンズ投影露光装置、ミラープロジェクション露光装置、コンタクト・プロキシミティ露光装置 |
| 5 |
レジスト処理装置 |
塗布装置、現像装置、アッシング装置、ベーキング装置、剥離装置 |
| 6 |
エッチング装置 |
ウェットエッチング装置、ドライエッチング装置 |
| 7 |
洗浄・乾燥装置 |
洗浄装置、乾燥装置 |
| 8 |
熱処理装置 |
酸化装置、アニーリング装置、レーザアニ−リング装置 |
| 9 |
ドーピング装置 |
イオン注入装置、イオンシャワー装置、イオンドーピング装置、プラズマドーピング装置、レーザドーピング装置 |
| 10 |
検査評価用装置・その他 |
各種分析器、膜厚測定器、外観表面検査装置、異物検査装置、バスライン検査装置、その他 |
| E |
カラーフィルタ製造用装置 |
1 |
露光装置 |
レンズ投影露光装置、ミラープロジェクション露光装置、製造用装置コンタクト・プロキシミティ露光装置 |
| 2 |
レジスト処理装置 |
塗布装置、現像装置、剥離装置、ベーキング装置 |
| 3 |
薄膜形成・エッチング・洗浄・乾燥装置 |
スパッタリング装置、蒸着装置、エッチング装置、洗浄・乾燥装置 |
| 4 |
着色パターン形成装置 |
印刷プロセス装置、電着プロセス装置、染色プロセス装置、顔料分散プロセス装置 |
| 5 |
検査評価用装置・その他 |
各種分析器（分光・解像・平坦特性等）、膜厚寸法測定器、外観表面検査装置、異物検査装置、その他 |
| F |
セル製造用装置 |
1 |
配向膜形成装置 |
ディップ塗布装置、スクリーン印刷装置、凹版印刷装置 |
| 2 |
焼成・乾燥装置 |
クリーンオーブン、コンベアオーブン |
| 3 |
ラビング装置 |
ラビング装置 |
| 4 |
シール印刷装置 |
スクリーン印刷装置 |
| 5 |
スペーサ散布装置 |
スペーサ散布装置 |
| 6 |
基板貼合わせ装置 |
基板貼合わせ装置 |
| 7 |
液晶注入装置 |
真空注入装置、液晶滴下装置、封止装置 |
| 8 |
洗浄・乾燥装置 |
洗浄装置、乾燥装置 |
| 9 |
セル分断装置 |
スクライブブレーク装置 |
| 10 |
偏光板貼付け装置 |
偏光板・光反射板貼付け装置 |
| 11 |
検査評価用装置・その他 |
配向性検査装置、透過光強度試験装置、パネル欠陥修正装置、バーンイン装置、その他 |
| J |
モジュール製造用装置
※統計集計上はH分類に含める。 |
1 |
モジュール製造用装置 |
ACF貼付け装置・TAB実装(搭載）装置・COG実装(搭載）装置・COF実装(搭載）装置・PCB実装(搭載）装置 |
| G |
検査用装置 |
1 |
電気試験装置 |
点灯表示部欠陥検査装置 |
| 2 |
機能検査装置 |
透過光強度試験装置、視覚特性試験器、カラー表示品位評価装置 |
| 3 |
エージング装置 |
エージング装置 |
| 4 |
検査用各種装置 |
冷熱試験装置、温・湿試験装置、衝撃試験装置、各種寿命試験装置、振動試験装置 |
| 5 |
プロービング装置 |
プローバ |
| 6 |
リペア装置・その他 |
レーザリペア装置、トリミング装置、その他 |
| H |
液晶パネル製造装置用関連装置 |
1 |
各種搬送用装置 |
基板搬送装置、積載装置、ローダ、アンローダ、搬送制御システム |
| 2 |
純水・薬液用装置 |
純水製造装置、濾過装置、逆浸透装置、滅菌装置、薬液供給装置、排液処理装置、薬液制御システム、安全システム |
| 3 |
各種ガス用装置 |
ガス供給装置、ガス純化・混合装置、検知装置、排ガス処理装置、ガス制御システム、安全システム |
| 4 |
クリーンルーム用装置 |
クリーンベンチ、クリーンドラフト、サーモチャンバ、環境試験室 |
| 5 |
その他の装置 |
各種制御装置、各種集中監視装置、各種治具洗浄・乾燥装置、各種包装装置、液体・ガス用各種測定器及び分析機器、流量制御機器、その他 |
| I |
液晶パネル製造装置以外のFPD製造装置 |
1 |
有EL/PDP/FED/リアプロジェクション用装置 |
蒸着装置、インクジェット装置、印刷装置、封止装置、焼結装置、洗浄装置 |
