| 大分類 |
小分類・細分類 |
装置・機器例 |
| A |
半導体設計用装置 |
|
|
パターン入力装置，プロッタ，エンジニアリングワークステーション，論理シミュレータ，回路シミュレータ，各種計測用機器，ロジックアナライザ |
| B |
マスク・レチクル製造用装置
*マスク・レチクル製造用に限る。 |
1 |
フォトリソ工程装置 |
電子ビーム描画装置，レーザ描画装置，パタンジェネレータ，コンタクトプリンタ，フォトリピータ，塗布装置，レジスト剥離装置現像・ベーキング・ディスカム装置 |
| 2 |
薄膜形成・エッチング・洗浄乾燥装置 |
真空蒸着装置，スパッタリング装置，ＣＶＤ装置，洗浄装置，エッチング装置，乾燥装置，スクラブ洗浄装置 |
| 3 |
検査評価装置・その他製造装置 |
欠陥検査装置，欠陥修正装置，マスク異物検査装置，外観検査装置 |
| C |
ウェーハ製造用装置
*複数の装置を１つの装置
にまとめた自動機の場合は、主となる装置の分類項目に入れる。 |
1 |
単結晶製造装置 |
単結晶引き上げ装置 |
| 2 |
ウェーハ加工装置 |
切断装置，ラッピング装置，ポリッシング装置，研削装置，ウェーハマーキング装置 |
| 3 |
検査評価装置・その他製造装置 |
ライフタイム測定器，結晶欠陥測定装置，加工検査装置，各種計測用装置 |
| D |
ウェーハプロセス用 処理装置 |
1 |
露光・描画装置 |
コンタクトプロキシミティ露光装置，投影露光装置（等倍、縮小），電子ビーム露光装置 |
| 2 |
レジスト処理装置 |
塗布装置，現像装置，レジスト剥離装置，アッシング装置，ベーキング装置，レジスト安定化装置，ウェーハ周辺露光装置 |
| 3 |
エッチング装置 |
ドライエッチング装置 |
| 4 |
洗浄・乾燥装置 |
ウェットエッチング装置，乾式洗浄装置，湿式洗浄装置，スクラブ洗浄装置，乾燥装置，高圧噴射洗浄装置 |
| 5 |
熱処理装置 |
酸化装置，拡散装置，アニール装置 |
| 6 |
イオン注入装置 |
大電流イオン注入装置，中電流イオン注入装置，高エネルギーイオン注入装置，ドーピング装置 |
| 7 |
薄膜形成装置 |
| 7-1. ＣＶＤ装置 |
常圧ＣＶＤ装置，ＳＡＣＶＤ,減圧ＣＶＤ装置，プラズマＣＶＤ装置，メタルＣＶＤ装置，ＡＬＤ装置 |
| 7-2. スパッタリング装置 |
スパッタリング装置 |
| 7-3. その他薄膜形成装置 |
真空蒸着装置，シリコンエピタキシャル成長装置，化合物半導体エピタキシャル装置（ＭＯＣＶＤ装置、ＭＢＥ装置），めっき装置 |
| 8 |
検査評価装置 |
外観検査装置，異物検査装置，ダストカウンタ，測長SEM，膜厚計，反射率測定機，オージェ電子分光装置，赤外分光光度計，シート抵抗測定器，ライフタイム測定機，その他各種計測・分析用装置 |
| 9 |
ＣＭＰ装置 |
CMP装置，CMP用洗浄装置 |
| 10 |
その他処理装置 |
ウェーハマーキング装置，マーク読み取り装置，裏面研削盤，バンプめっき装置，バックグラインダ用テープ貼付機，バックグラインダ、バックグラインダ用テープ剥離機 |
| E |
組立用装置 |
1 |
ダイシング装置 |
スクライビング装置，ダイシング装置，ウェーハマウンティング装置 |
| 2 |
ボンディング装置 |
ダイボンディング装置，ハイブリッドボンディング装置，ワイヤボンディング装置，インナリードボンディング装置，アウタリードボンディング装置，フリップチップボンディング装置 |
| 3 |
パッケージング装置 |
モールド装置，バリ取り装置，封止用加熱炉，半田処理装置，半田ボールマウンティング装置 ，リード加工機，マーキング装置 |
| 4 |
検査評価装置・その他組立装置 |
外観検査装置，密封度試験装置，ボンドプルテスタ，Ｘ線検査装置，リード外観検査装置，各種計測用機器 |
| F |
検査用装置
＊複合するテスタの場合は、主となるテスタの項目に入れる。 |
1 |
テスティング装置 |
| 1-1. SOC＆Logicテスティング装置 |
ロジックテストシステム，ＡＳＩＣベリフィケーション装置 |
| (1-3. リニアテスティング装置)(旧) |
リニアテストシステム，ミックスドシグナルテストシステム，アナログテストシステム |
| (1-4. その他テスティング装置)(旧) |
トランジスタテストシステム，ＬＥＤテストシステム，イメージセンサテストシステム，電子ビームテスティング装置，レーザビームテスティング装置，個別半導体テストシステム，ＡＣパラメトリックテストシステム |
| 1-2. メモリテスティング装置 |
メモリテストシステム |
| 2 |
プロービング装置 |
プローバ |
| 3 |
ハンドラ |
ハンドラ |
| 4 |
エージング装置 |
エージング装置，バーンイン装置，ＩＣ挿入装置，ＩＣ抜取装置 |
| 5 |
その他検査装置 |
冷熱試験装置，温・湿試験装置，衝撃試験装置，プレッシャクッカ装置，リーク検査装置，レーザプロセッシングシステム，振動試験装置，各種寿命試験装置，波形分析機，各種計測用機器 |
| G |
半導体製造装置用関連装置 |
1 |
各種搬送装置 |
工程内ウェーハ搬送装置，工程間ウェーハ搬送装置, ストッカー |
| 2 |
純水・薬液装置 |
純水製造装置，限外ろ過装置，逆浸透装置，滅菌装置，薬品供給装置，スラリー供給装置，薬品純化装置，廃液処理装置 |
| 3 |
各種ガス装置 |
ガス発生装置，ガス純化装置，ガス混合装置，ガス検知装置，排ガス処理装置 |
| 4 |
クリーンルーム装置 |
クリーンベンチ，クリーントンネル，サーマルチャンバ，環境試験室，エアシャワー，パスボックス |
| 5 |
その他製造関連装置 |
各種制御装置，各種集中監視装置，各種治具洗浄・乾燥装置，流量制御用機器，各種テーピング装置，各種包装装置，液体用・各種ガス用計測用機器および各種分析用機器 |
