TOP ｜ English

用語集検索方法選択

TOP＞用語検索方法選択＞技術分野検索：【Factory Integration】 ・ アクセスモード ・ ウェーハリテーナ ・ ウェーハID ・ 可変パラメーター ・ キャリア/スロットマップ ・ キャリアID ・ 工程間搬送 ・ 工程内搬送 ・ 工程能力指数(Cp/Cpk) ・ コンベヤ ・ コントロールジョブ ・ ジョブショップ ・ スタッカクレーン ・ ストッカー ・ スループット ・ 装置エンジニアリング ・ 双方向性ロードポート ・ ダイナミックシミュレーション ・ ダイナミックスケジューリング ・ ダイレクト搬送 ・ タクトタイム ・ ディスパッチャ ・ データ・ウェアハウス ・ 同時移載 ・ トップロボットフランジ ・ バッチ ・ 搬送機コントローラ ・ 搬送スケジューリング ・ ハンドオフ ・ プロセスジョブ ・ フローショップ ・ 予防保全/PM ・ リモート保守/e-Diagnostics ・ レシピ ・ レティクル ・ ロードポート ・ AEC (Advanced Equipment Control) ・ AGV（Automated Guided Vehicle） ・ AMHS（Automated Material Handling Systems） ・ AMHSインテグレータ（Automated Material Handling System Integrator） ・ APC（Advanced Process Control） ・ ARHS（Automated Reticle Handling System） ・ CIM（Computer Integrated Manufacturing） ・ DDA（Diagnostic Data Acquisition） ・ DEE（Detailed Equipment Event） ・ Duplex System ・ EDA（Equipment Data Acquitition） ・ e-Diagnostics/リモート保守 ・ EEC（Equipment Engineering Capability） ・ EEQA（Enhanced Equipment Quality Assurance） ・ EEQM (Enhanced Equipment Quality Management) ・ EES（Equipment Engineering System） ・ EESデータインターフェース ・ EFEM（Equipment Front End Module） ・ EPT（Equip Performance Tracking） ・ FDC（Fault Detection&Classification） ・ FOSB（Front Open Shipping BOX） ・ FOUP ( Front-Opening Unified Pod ) ・ FOUP IDタグ ・ GEM（Generic Equipment Model） ・ HSMS（High Speed Messeage Services） ・ I/F-A（Interfacr A） ・ I/F-B（Interfacr B） ・ I/F-C（Interfacr C） ・ IBSEM（IntraBay System Controller） ・ IIS ・ IM（Integrated Metrology） ・ ITRS(International Technology Roadmap for  Semiconductor) ・ Java ・ Local Buffer Station ・ MCS（Material Control System、Material Handling Control System） ・ MES（Manufacturing Execution System） ・ MTBF（Mean Time Between Failure） ・ MTTR（Mean Time To Repair） ・ NPW（Non Product Wafer） ・ OEE（Overall Equipment Efficiency） ・ OHS（Over Head Shuttle）：OHT（Overhead Hoist Transport） ・ PGV（Person Guided Vehicle） ・ PLC（Programmable Logic Controler） ・ PM/予防保全 ・ QTAT（Quick TAT） ・ RaP（Recipe and Adjustable Parameters） ・ Reticle SMIF Pod （RSP） ・ RGV（Rail Guided Vehicle） ・ RMS（Recipe Management System） ・ RPT（Raw Process Time） ・ RTD（Real Time Dispatcher） ・ Run-to-Run制御 ・ SCM（Supply Chain Management） ・ SECS（SEMI Equipment Communications Standard） ・ SEM（Specific Equipment Model）規格 ・ SPC（Statistical Process Control） ・ StockerSEM（Stocker System Controller） ・ TAT（Turn Around Time） ・ TDI（Tool Data Integration） ・ WIP（Work In Process） ・ X-Factor ・ XML（Extended Mark-Up Language） ・ YMS（Yield Management System） ・ ZFB

個人情報保護方針 ｜ サイトマップ ｜ お問い合わせ