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TOP＞用語検索方法選択＞技術分野検索：【リソグラフィ (Lithography)】 ・ 多層レジストプロセス ・ 変形照明 ( 斜入射照明 ) ・ 位相シフト、PSM ( Phase Shift Mask：位相シフトマスク ) ・ OPC ( Optical Proximity Correction：光学近接効果補正 ) ・ ME(E)F ( Mask Error ( Enhancement ) Factor ) ・ 複屈折 ( birefringence ) ・ ULPA ( Ultra Low Penetration Air ) フィルタ ・ SR ( Synchrotron Radiation ) ・ 発光点出力 ・ 集光点出力 ・ LER ( Line Edge Roughness ) ・ APC ( AdvancLcess Control )

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