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TOP＞用語検索方法選択＞技術分野検索：【計測（metrology）】 １．形状観察 ・ Diffractogram Tableau ・ HAADF-STEM (High-Angle Annular Dark-Field Scanning Transmission Electron Microscopy) ・ STEM (Scanning Transmission Electron Microscope) ・ TEM (Transmission Electron Microscope) ・ 原子間力 ・ AFM (Atomic Force Microscope) ２．欠陥検査 ・ EPMA (Electron Probe Micro Analyzer) ・ XPS (X-ray Photoelectron Spectrometer) ・ SEM (Scanning Electron Microscope) ・ ADC (Automatic Defect Classification) ・ ADR (Automatic Defect Review) ・ UV (Ultra Violet) ・ DUV (Deep Ultra Violet) ・ YMS (Yield Management System) ・ HAR (High Aspect Ratio) ・ FIB (Focused Ion Beam) ・ EDX (Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy) ・ MDC (Manual Defect Classification) ・ DFM (Desigh For Manufacturability / Manufacturing) 製造のための最適設計 ３．in-situ測定 ・ In-situ測定 ・ 研磨終点検出 ・ コンタクトホール ・ ビヤホール ・ 層間絶縁膜（ILD） ・ ディシング ・ エロージョン ・ スラリー

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