ブックタイトルSEMICON China 2018レポート

概要

SEMICON China 2018レポート

SEMICON China 2018レポートSEAJ Journal 2018. 4 No. 161 21チャイナが初出展となった。SMIC やホワリーなどの大手顧客から要請され、代理店経由でなく直接営業やサービスを強化するために現地進出を決めたという。「顧客との関係をさらに緊密にし、知名度を上げるために来年もまた出展したい」と同社の上海法人の住吉総経理は話す。【セミコン＆ FPD チャイナ2018に出展した日本企業（一部）】（50音順　※印はSEAJ 会員企業）No. 企業名No. 企業名1 ※ JSR 17 ※ 東京精密2 ※ SCREEN 18 ※ ニコン3 SMC 19 日産化学工業4 ※ TOWA 20 ※ 日新イオン機器5 アキレス21 日星産業6 ※ アルバック22 日本ファインセラミックス7 石原薬品23 日立化成8 ウインテスト24 ※ 日立国際電気9 ※ ウシオ電機25 ※ フェローテック10 ※ オルガノ26 ※ フジキン11 ※ キッツエスシーティー27 ※ 堀場製作所12 ※ キヤノン28 松下電子材料（上海）13 澁谷工業29 ※ 三井住友ファイナンス＆リース14 ※ ダイヘン30 ※ リオン15 ※ ディスコ31 ※ レーザーテック16 ※ 東京エレクトロン（把握できたのは、ここまで）※ 著者が展示会場を回ってメモしたため、全てを網羅できていない場合もあり得ます■中国3大メモリー工場立ち上げへ中国はスマートフォンやパソコン、サーバーなど世界の過半を生産しているが、これらに使われる半導体の多くを輸入に頼っている。2015年にはIC の輸入額（2300億米ドル）が石油の輸入額（1341億米ドル）を超えた。このことが中国のIC 国産化を推進する大きな理由になっている。このような時代背景から、中国各地で巨大なメモリー工場の建設計画が発表され、今年ついにこれらの3工場が立ち上がる。DRAM 製造のイノトロン（睿力集成電路、安徽省合肥市）は17年11月から製造装置（月産能力5000枚）の搬入を始めた。18年3月末に装置の立ち上げを完了する予定だったが、これが1カ月遅く進行して4月末から工場を稼働させる。「降雪による搬入作業の遅れや露光機の納期遅延が原因」（イノトロン関係者）とみられている。稼働当初は19nm ノードによる試作を始め、「次の開発準備のため、4月から17nm 対応の材料選定を始める」（材料メーカー営業）。3D-NAND 製造のYMTC（長江存儲科技、湖北省武漢市）は、4月中旬に最初の製造装置の搬入式典を開催する。試作ラインとして月産能力5000枚の生産ラインを構築する。「地元政府から資金支援を受けている都合で、計画通り工場立ち上げを進行する必要があるので4月に搬入式典を開催するが、本格的な装置搬入は5月から始まる」（装置メーカー営業）。試作ラインでは「32層製品のウェーハを流す一方で、64層製品の開発テストも並行して進める」（YMTC 関係者）という。UMC が技術支援するDRAM 製造のJHICC（晋華集成電路、福建省泉州市）は、装置搬入時期を8月に定めた。今春の搬入開始を目指していたが、やや遅れて生産ラインを立ち上げる。「初期導入量は月産能力1万枚程度とみられていたものの、最終的に5000枚に落ち着いた」（装置メーカー営業）。当初計画よりも4カ月近く遅れたもようだ。台湾では、米マイクロンがUMC やUMC に転職した元マイクロン社員に対して製造プロセスなどの技術情報の不正取得を訴え、今も係争中だ。また、「UMC の台南工場内のDRAM 開発ラインでの28nm プロセスの開発が順調でないため、量産開始スケジュールを遅らせた」（材料メーカー営業）ものと考えられる。訴訟問題が28nm の開発の遅れに影響していると指摘する声もある。中国の三大メモリープロジェクトは期待を集めていたものの、月産能力10万枚級の工場を約3年で立ち上げるという当初の構想は、案の定、絵に描いた餅となって厳しい現実を味わっている。3社とも月産能力5000枚のパイロットラインでコツコツと試作を始め、「プロセス技術の確立からサンプル出荷、顧客認定まで2年近い時間が必要」（中国の半導体工場の技術者）とみられる。これらの工場の商業生産ベースでの量産開始は20年ころまで待つ必要がある。「300mmウェーハの供給不足問題もあり、各社とも20年までは月産2YMTC の工場完成レイアウト