ブックタイトルセミコンジャパン2018出展特集

概要

セミコンジャパン2018出展特集

14 SEAJ Journal 2018. 11 No. 163株式会社日立ハイテクノロジーズ（5045）日立ハイテクフィールディング、日立ハイテクファインシステムズ、日立ハイテクソリューションズ■ 電子デバイスシステム事業統括本部■ 〒105-8717 東京都港区西新橋一丁目24番14号TEL 03-3504-7111　FAX 03-3504-7123　http://www.hitachi-hitec.com/device/index.html■ 出展製品「エッチング装置」「高分解能 FEB 測長装置」「欠陥レビュー SEM」「ウェーハ表面検査装置」「イオンビームミリング装置」他■ 出展の見どころ新材料対応や複雑な加工を伴うφ300mm ウェーハの先端LSI から、特殊な材質や加工によるφ200mm 以下ウェーハでのIoT 用途デバイスやSiC パワー半導体まで、独自のマイクロ波ECR プラズマをコアとした多彩なプロセスモジュールを搭載可能な9000シリーズ エッチング装置をはじめ、幅広い加工・計測・検査・解析ソリューションをご提案します。新コスモス電機株式会社（5203）■ インダストリ営業本部■ 〒532-0036 大阪市淀川区三津屋中2-5-4TEL 06-6308-2111　FAX 06-6308-8129　https://www.new-cosmos.co.jp/■ 出展製品「個人ばく露濃度計　XV-389」「環境モニタ COD-203」「半導体材料ガス検知部　PS-7」他■ 出展の見どころガス警報器の新コスモス電機は「個人ばく露濃度計 XV-389」や、「半導体材料ガス検知器XPS-7」と「半導体材料ガス検知部PS-7」、クリーンルーム等の空気環境をモニタリングする環境モニタを展示。半導体製造工場・太陽電池製造工場向けガス検知警報器、各種ガス検知器を出展します。株式会社ドックワイラージャパン（5007）■ 営業部■ 〒103-0022　東京都中央区日本橋室町４-1-21 近三ビルTEL 03-3277-0250　FAX 03-6262-0854　http://www.dockweiler.com■ 出展製品高純度ダイアフラムバルブ付ラテラル　他■ 出展の見どころ「高純度ダイアフラムバルブ付ラテラル」の特徴：①バルブ取付部を除き全て電解研磨　②クリーンルーム内での溶接と包装　③国際半導体仕様“SEMI”に準拠　④デッドスペースを最小にする溶接技術　⑤米国のエバンス社との提携　　世界の大手半導体メーカーでの実績豊富です。　是非お立ち寄りください。個人ばく露濃度計XV-389コンダクターエッチング装置9000シリーズ高純度ダイアフラムバルブ付ラテラルHALL ５HALL ５HALL ５