SEAJ 一般社団法人 日本半導体製造装置協会
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半導体/FPDってなに?
アレイ製造用装置
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成膜
TFTを形成するために透明電極膜・ゲート電極膜・配線膜をスパッタリングで、アモルファスSi膜・絶縁膜をプラズマCVDで成膜を行ないます。


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基板洗浄

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レジスト塗布
感光性材料であるフォトレジストを基板上に極めて薄く均一に塗布を行います。スピン塗布方式やスリット塗布方式などがあります。

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露光
基板上のフォトレジストに対して、回路パターン形状をフォトマスク等を介して投影露光するなどして感光させます。

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現像
露光された基板を現像することにより、基板上にレジスト像の回路パターン等を形成します。

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パターン検査
アレイ基板上に形成されたパターンにオープン、ショート、異物などの欠陥がないか検査します。

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ウェットエッチング
膜の露出している部分(レジストで覆われてないところ)をエッチングで除去します。

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ドライエッチング
 

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レジスト剥離
その後、不要なレジストも取り除きます。

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アニール
薄膜に熱処理を加え基板上の素子の性能を向上させます。

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アレイ回路完成
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カラーフィルタ・セル・モジュール工程


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