SEAJ 一般社団法人 日本半導体製造装置協会
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半導体/FPDってなに?
FPD製造工程とは
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液晶ディスプレイの動作


液晶のしくみ


アレイ工程 →アレイ工程全体図はこちら(PDF)
液晶パネル設計用装置 - 回路設計
・画素や周辺回路を、いかに効率よ く配置するかなど、回路図を作り検討を重ねます。
マスク・レチクル製造用装置 - フォトマスク作製
・フォトマスクは、TFTやCFのパターンをガラス基板に焼付けするための写真のネガに相当します。
基板製造用装置 - 基板洗浄
ガラス基板上にゴミ(パーティクル)や汚染(有機物などによる汚れ)があると工程で不良の大きな発生原因になります。洗浄では、ブラシや薬品を使ってこれらを除去することを目的に行われる工程です。
アレイ製造用装置
・成膜
・レジスト塗布
・露光
・現像
・パターン検査
・ウェットエッチング
・ドライエッチング
・レジスト剥離
・アニール
・アレイ回路完成


カラーフィルタ・セル・モジュール工程 →カラーフィルタ・セル・モジュール
工程全体図はこちら(PDF)
カラーフィルタ製造用装置
・ブラックマトリクス形成
・着色パターン形成
・保護膜形成
・透明電極形成
セル製造用装置
・配向処理
・液晶滴下・貼合せ
・切断
・偏光板貼り付け
モジュール製造用装置
・ドライバIC取付
・バックライト設置
・点灯検査


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