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ウェーハ製造用装置 - ウェーハ製造
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インゴットの引き上げ
インゴットの引き上げ 多結晶をドーフ剤と共に石英ルツボの中で溶融し、種結 晶棒を回転させながら徐々に引上げ必要な太さの単結晶棒(インゴット)をつくります。

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インゴットの切断
インゴットの切断 インゴットをダイヤモンドブレードで所定の厚さに切断し、ウェーハをつくります。

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ウェーハの研磨
ウェーハの研磨 ウェーハの表面を鏡面状に研磨します。


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ウェーハの酸化



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