リソグラフィ専門委員会

2020/7/10

2019年度　活動成果報告会　発表資料を掲載しました。

2019/4/23

2018年度　活動成果報告会　発表資料を掲載しました。

2018/4/24

2017年度　活動成果報告会　発表資料を掲載しました。

2024/1/31

技術講演会「最先端マスク関連技術」2/14(水)お申し込み開始しました。

2023/11/22

技術講演会「最先端EUVレジスト技術と材料技術」11/21(火)※終了しました。多数のお申し込みありがとうございました。参加者計143名〔対面21名（一般9名・委員10名・事務局 2名）＋WEB 122名〕

2023/1/5

技術講演会「マスクレスリソグラフィとミニマルファブへの期待」※動画編集後ご参加の皆様に配信いたします。※1/31機材トラブルによりライブ配信の継続が困難と判断いたしました結果、 セミナーを中断とさせていただきました。貴重なお時間を頂戴しているにも関わらず、大変ご迷惑 をおかけしましたこと、深くお詫び申し上げます。

2022/6/24

技術講演会「電子線リソグラフィ用帯電防止材料の開発と実用化」6/24(金)※終了しました。多数のお申込ありがとうございました。

2022/4/19

技術部会「位相シフトマスクの発明と光学結像理論の吟味」終了いたしました。多数のお申込ありがとうございました。

その他のお知らせはありません。