半導体製造装置用語集
その他
100万炭素換算トン (MMTCE：Million Metric Tons Carbon Equivalent)
二酸化炭素（CO2）の量を炭素（C）相当分で算出し、100万トンを基準単位として表したもの。炭素換算値はCO2の量に0.273を掛けて得られる。逆に炭素換算の値に3.67を掛けるとCO2の量が得られる。
AGV (Automated Guided Vehicle)
無人搬送車。主に工場内等で物資の運搬を行なう装置で、物流の無人・省人化に貢献する。
OHT (Overhead Hoist Transport)
天井走行式無人搬送車。半導体ウェハの搬送システムとして知られ、装置内搬送のみではなく、工程間にも利用される。
ケース (CASE： Connectivity/Automonous/Shared&Service/Electronic)
2016年パリモーターショーで独ダイムラー社が提唱した自動車の4つの次世代技術をあらわす用語。それぞれの頭文字をとり4文字で表される。コネクティビティもしくはコネクテッド（Connectivity/Connected）、自動運転（Autonomous）、シェアリング/モビリティサービス（Shared&Service）、電動化（Electrification）。
人工知能 (Artificial Intelligence)
人間の知的ふるまいの一部をソフトウエアを用いて人工的に再現したもの。
スマートファクトリー (Smart factory)
IoTやAIなどの先端技術を用いて、データ活用・分析を行い、製造プロセスの改善や稼働の効率化を実現する工場のこと。
地球温暖化係数 (GWP： Global Warming Potential)
二酸化炭素、メタン、亜酸化窒素などの各種の温室効果ガス毎に定められる、温室効果の程度を示す値。
投資利益率 (ROI:：Return On Investment)
企業の収益性を判断する基本的な経営指標。企業資本がどのように効率的に運用されたかを示す百分比である。利益／資本×100で算出される。
年平均成長率 (CAGR：Compound Annual Growth Rate)
複数年にわたる成長率から、１年あたりの幾何平均を求めたもの。
幾何平均とはn個の数値の場合、すべて掛け合わせn乗根を取った値。