半導体製造装置用語集
Modeling and Simulation
- APC (Advanced Process Control)
- ex-situ
- FDC (Fault Detection and Classification)
- in-situ
- SVA (Singular Value Analysis)
- TCAD
- Virtual Sensor
- FDTD法
- エミッタンス
- エロージョン
- 応答曲面
- 重み付き移動平均
- 学習制御
- 仮想反応炉
- Galerkin法
- カルマンフィルタ
- 感度解析
- 均一温度制御技術 (Uniform Temperature Control)
- グリッドコンピューティング
- 形態係数
- 光線追跡法
- 混合モデル
- 最大原理 (Maximum Principle)
- 最適レギュレータ
- 時間分割シミュレーション
- システム制御
- 実時間制御 (Real-time control)
- スケールアナリシス
- 直接シミュレーションモンテカルロ法
- ディッシング
- 適応制御 (Adaptive Control)
- ニューラルネットワーク
- Hamilton関数
- パラレルプロセッシング
- 半経験的手法
- PIC法
- PCクラスタ
- Phase Field 法
- 分子動力学
- Hotelling統計
- ホモトピー法
- モンテカルロ法
- 有限差分法
- 有限要素法
- 量子化学計算