半導体製造装置用語集
その他
- 100万炭素換算トン (MMTCE：Million Metric Tons Carbon Equivalent)
- AGV (Automated Guided Vehicle)
- OHT (Overhead Hoist Transport)
- ケース (CASE : Connectivity/Automonous/Shared&Service/Electronic)
- 人工知能 (Artificial Intelligence)
- スマートファクトリー (Smart factory)
- 地球温暖化係数 (GWP : Global Warming Potential)
- 投資利益率 (ROI : Return On Investment)
- 年平均成長率 (CAGR : Compound Annual Growth Rate)