リソグラフィ専門委員会主催 技術講演会※終了しました。
※終了しました。多数のご参加ありがとうございました。
※↓「◆質問の仕方について」他、更新しました。
※当日の講演会URLをアップしました。お申込み時に記載いただきましたメールアドレスに、Microsoft Teamsへの参加手順と合わせて、PWをお送りしております。2021/03/23
技術講演会210324URL_Rev.1.pdf
主旨
SEAJリソグラフィ専門委員会では、最新のリソ技術や、Logic、DRAM、SCM等のデバイス毎の技術、市場動向の講演会開催を通じて、最新情報を収集しています。この度当委員会は今回、株式会社ニコン 次世代プロジェクト本部 第三開発部 渡邉 陽司 様 と 日本ゼオン株式会社 総合開発センター 高機能化学品研究所 白鳥 彰秀 様をお招きしてご講演頂くこととし、会員企業の皆様とも共有することといたしました。ご関係者はもちろん、周りにご興味のある方がいらっしゃいましたら、ご案内いただけますと幸いです。皆様のご参加をお待ち申し上げます。
開催日程・場所
| お申し込み | 開催日程 | 開催場所 |
|---|---|---|
| 参加申込 | 2021年 3月 24日(水) | Microsoft Teams |
受講価格
会員無料
講師
株式会社ニコン 渡邉 陽司 氏（Yoji Watanabe）
Ⅰ. DUV光マスクレス露光機の開発
日本ゼオン株式会社 白鳥 彰秀 氏（Akihide Shirotori）
Ⅱ. EUVリソグラフィー用新規主鎖切断型レジスト
内容
Ⅰ. DUV光マスクレス露光機の開発
光マスクレス露光機はi線相当の露光波長をもつ装置はすでに製品化されているが、解像度（L/Sハーフピッチ）は500nm程度が限界である。弊社ではDUV固体レーザーを光源にもつ光マスクレス露光機（デジタルスキャナーと呼ぶ）を開発している。
本講演では、デジタルスキャナーの概要と固体レーザーの利点を述べる。デジタルスキャナーの露光データも紹介する。
Ⅱ. EUVリソグラフィー用新規主鎖切断型レジスト
EUVリソグラフィーは極端紫外線と呼ばれる非常に短い波長（13.5nm）の光を用いるリソグラフィー技術で、非常に微細なパターンの加工が可能になる。半導体の更なる高性能化、低消費電力化を進めるために半導体量産工程へのEUVリソグラフィーの導入が検討され、既にいくつかの半導体チップメーカーでは量産工程に使用されている。一方で更なる微細化にはレジスト材料の高性能化は不可欠である。具体的には高解像性、ラフネスとStochastic欠陥の低減が強く求められている。
日本ゼオンでは1990年代前半に主鎖切断型レジストを開発しEBリソグラフィーを中心に使用頂いている。主鎖切断型レジストはEUV光でも主鎖切断反応が起こることが報告され、主鎖切断型レジストをEUVリソグラフィー用途に使用できないか検証を行うため2017年からimecと共同開発を行い、新規レジスト材料とプロセス開発を進めている。主鎖切断型レジストはポリマーと有機溶剤のみという非常にシンプルな構成をしているため、特にStochastic欠陥を低減することを期待されている。
本講演では主鎖切断型レジストのパターン形成メカニズムとEUVリソグラフィー用に開発したレジストのimecでの評価結果を中心に説明を行う。
タイムテーブル
テーブル2セル
スケジュール
講義名
15:00
受付 接続開始
15:45
開会挨拶
15:50
Ⅰ. DUV光マスクレス露光機の開発
16:30
休憩
16:40
Ⅱ. EUVリソグラフィー用新規主鎖切断型レジスト
17:20
閉会挨拶
17:25
接続終了
| スケジュール | 講義名 |
|---|---|
| 15:00 | 受付 接続開始 |
| 15:45 | 開会挨拶 |
| 15:50 | Ⅰ. DUV光マスクレス露光機の開発 |
| 16:30 | 休憩 |
| 16:40 | Ⅱ. EUVリソグラフィー用新規主鎖切断型レジスト |
| 17:20 | 閉会挨拶 |
| 17:25 | 接続終了 |
■定員■
100名
■当日までのご準備■
当日までのご準備：2，3日前頃、講演会Microsoft TeamsのURLをお送りします。
■お申し込み■
お申込み後、すぐに自動配信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けておりませんので、担当者までお問い合わせください。
■お問い合わせ■
SEAJ事務局 星野・後藤
TEL：03-3261-8262 e-mail: tgotoh@seaj.or.jp
■事前準備■
Teams講演会に参加する為に、以下についてご準備をお願い致
インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー）
◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge Chrome 他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前に確認の上、ご利用
あらかじめアプリをインストールしておくとスムーズにゲストとして利用をすることができますが、
インストールしないでブラウザでの参加も大丈夫です。
■Teams会議参加手順■
1. 頁トップの「技術講演会210324URL.Rev.1.pdf」をクリックし、記載の講演会URLからお入りください。
2. Webブラウザが起動し、Teams講演会の画面が開きます。
3. カメラの使用許可を求められる場合があります。
「ブロック」を選択して構いません。
4. [名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。
オンライン講演会開催中に表示される名前となります。
入力する名前は「会社名」「氏名」がわかるようにして、
出欠確認をしますのでご協力ください。 例）SEAJ後藤
5. Teams会議の招待待ちの画面となります。
会議の開催者からの招待をお待ちください。
6．主催者（事務局）に招待されると、Teams会議の画面が
表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、
音声調整にお役立てください。
★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます
★右下の吹き出しマーク（青枠）をクリックすると、チャット
（インスタントメッセージ）の表示/入力エリアが表示されます。
■【その他Teams使用の際の注意事項】
・今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。
予めご了承ください。※皆様の方では録音・録画はご遠慮下さい。
・講義中のご質問は「チャット」をご利用ください。
内容についてのご質問は各講演終了後に予定しております質疑応答
回答いたします。⇒◆質問の仕方について①②他
・その他のご質問につきましては主催者よりチャットで返信いたし
◆質問の仕方について
① 講義中では「チャット」をご利用ください。各講演後の質疑応答の
回答いたします。
② 講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の
従いご発言下さい。
※ご質問はできるだけ早い方から順に対応します。
※時間内に回答しきれなかった分は、講演会終了後のアンケートで
その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合
担当：SEAJ事務局 後藤 03-3261-8262または050-5469-1822 tgotoh@seaj.or.jp
※当日15:00以降はメールでご連絡をいただきたくお願いいた