リソグラフィ専門委員会主催「アドバンストリソグラフィ」

配布資料20220119_D2S.pdf
↑ダウンロードしてご覧いただけます。(★開封PW）
★視聴後のアンケートご協力のお願い（所要時間約4分）
※メール配信中　2022/2/3～

SEAJリソグラフィ専門委員会主催　「アドバンストリソグラフィ」アンケートご協力のお願い用 QR コード (1).png

当日の接続URL 技術講演会220119URL.pdf
※PW配信中　2022/1/19~

※事前の資料共有はございません。

対象

SEAJ会員企業と関係者

主旨

SEAJリソグラフィ専門委員会では、最新のリソ技術や、Logic、DRAM、SCM等のデバイス毎の技術、市場動向の講演会開催を通じて、最新情報を収集しています。この度当委員会は D2S, Inc. Dr. Linyong (Leo) Pang 様と㈱ニューフレアテクノロジー　五島嘉国様をお招きしてご講演頂くこととし、会員企業の皆様とも共有することといたしました。ご関係者はもちろん、周りにご興味のある方がいらっしゃいましたら、ご案内いただけますと幸いです。皆様のご参加をお待ち申し上げます。

開催日程・場所

セミナーテーブル
お申し込み	開催日程	開催場所
参加申込	2022年 1月 19日(水)	Microsoft Teams

受講価格

無料

講師

Dr. Linyong (Leo) Pang 様

D2S, Inc.
Chief Product Officer and Executive Vice President

五島嘉国様（Yoshikuni Goshima）

株式会社ニューフレアテクノロジー
R&D Department, Nuflare Technology America, Inc. Senior Manager

内容

Ⅰ　Inverse Lithography Technology (ILT): 30 Years from Concept to Practical, Full-Chip Reality

Ⅱ　マルチ電子ビームマスク描画装置におけるLSI-MEMSデバイス開発
ニューフレアテクノロジー(NFT)が開発・製造・販売しているマルチ電子ビームマスク描画装置MBM-2000は，連続移動するマスク基板に約26万本の電子ビームをプログラマブルにON/OFF制御しながらパターンを描画する。マスクパターンによらず一定の時間で描画することができるため，複雑さを増す最先端のEUVマスクの生産に不可欠となっている。
NFTは，50 keVの高加速電子ビームを制御するブランキングアパーチャアレイ(BAA)開発における種々の課題を解決することで，信頼性の高いマルチ電子ビームマスク描画装置の開発に成功した。
本講演では，MBM-2000およびBAA(LSI-MEMSデバイス)の開発について紹介する。

タイムテーブル

テーブル2セル
スケジュール	講義名
13:30	受付(接続)開始
14:00	開催挨拶　永原委員長
14:05	ご講演Ⅰ　Dr. Linyong (Leo) Pang 様
14:50	時間調整（休憩）
14:55	ご講演Ⅱ　五島嘉国様
15:40	閉会挨拶

■お申し込み■

お申込み後、すぐに自動配信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けておりませんので、↓事務局担当までお問い合わせください。

■お問い合わせ■

担当：SEAJ事務局　星野・後藤　
TEL：03-3261-8262　e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp

↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。

■当日の接続URLについて■

頁トップに「技術講演会220119URL.pdf」を掲載し、開封PWを、お申し込みいただいたメールアドレスに配信します。接続URLをご確認いただけます。

■事前準備■　　

Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。　
インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー・ヘッドセット等）

◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge　 Chrome　他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前に確認の上、ご利用ください。

あらかじめアプリをインストールしておくとスムーズにゲストとして利用をすることができますが、インストールせず、ブラウザでの参加も可能です。

また、音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めします。

◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ その他のオプションを表示する場合に選択しますなど] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオデバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ

■当日の参加手順について■

頁トップの「技術講演会220119URL.pdf」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
（アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、）Teams講演会の画面が開きます。
カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
[名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。　例）SEAJ後藤必須ではありません。
アクセスするとすぐにTeams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。
★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます。★右下の吹き出しマーク（青枠）をクリックすると、チャット（インスタントメッセージ）の入力エリアが表示されます。

■その他Teams使用の際の注意事項■

今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
講義中のご質問は「チャット」をご利用ください。
【内容について】ご質問は各講演終了後に予定しております質疑応答の際に回答いたします。⇒・質問の仕方について
【その他】ご質問は事務局よりチャットで返信いたします。
質問の仕方について

講義中では「チャット」をご利用ください。各講演後の質疑応答の時に回答いたします。
講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。※ご質問はできるだけ早い方から順に対応します。
※時間内に回答しきれなかった分は、講演会終了後のアンケートにご記入下さい。

その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合せください。
担当：SEAJ事務局　星野・後藤　03-3261-8262または050-5469-1822　　 souchi.seigyo★seaj.or.jp

↑「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。

1/19(水)当日11:00以降はメールでご連絡をいただきたくお願いいたします。

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