SEAJリソグラフィー専門委員会主催「位相シフトマスクの発明と光学結像理論の吟味」
ＰＷを配信中です。ダウンロードしてご覧ください。4/18(月)20:00～
220419_当日のURL_PW.pdf.pdf
対象
SEAJ 会員企業の皆様とその関係者
主旨
東京工芸大学 名誉教授 渋谷 眞人 様が 国際光工学会SPIE 2022年度ルドルフ＆ヒルダ・キングスレイク光学設計賞(SPIE Rudolf and Hilda Kingslake Award in Optical Design)を受賞されました。この賞は著名な光学設計・技術者ルドルフ・キングスレイク及びヒルダ・キングスレイクを記念した賞であり、光学技術の理論や実証を含む光学設計分野での顕著な功績を讃えるものです。（表彰式は2022年8月サンディエゴにて開催予定。）
そこでSEAJリソグラフィー委員会は渋谷 眞人様をお招きしご講演いただくことといたしました。ご関係者はもちろん、周りにご興味のある方がいらっしゃいましたら、ご案内いただけますと幸いです。皆様のご参加をお待ち申し上げます。
開催日程・場所
| お申し込み | 開催日程 | 開催場所 |
|---|---|---|
| 参加申込 | 2022年 4月 19日(火) | Microsoft Teams |
講師
渋谷 眞人 様（Masato Shibuya）
東京工芸大学 名誉教授 渋谷 眞人 様は、日本光学工業株式会社（現ニコン）に入社され、衛星搭載光学系や半導体露光装置などの最先端技術の光学設計・開発に従事された後、2001年東京工芸大学に入職されました。同大工学部および工学研究科で、光学結像理論や光学設計技術にかかわる最先端技術を研究し、主に光学設計に関わる授業を受け持たれておられます。現在も同大で教鞭を執られるほか同大名誉教授としてご執筆やご講演を行っておられます。またISOやJISの仕事を通じて、光学会・光学産業界の発展に尽力され、ISOに対するご貢献もSPIEで高く評価されております。
内容
光学系の結像理論は、高精度な光学系の開発に伴い発展してきたと思います。綿密に考えることは非常に大切なことです。それはKingslakeの第1法則 “In optics, it is easy to do something roughly but very difficult to do it well.”が示していることだと思います。
位相シフトマスクの発明は、コヒーレンスを考慮した光学結像理論の不十分さを吟味する中で考えたものです。また、その過程で、あるいはそれと並行して結像理論をいろいろ考えてきました。例えば、光線の方向余弦の重要性を認識しましたが、従来の光学結像理論では不十分だったと思います。その他にも正しい照度計算など光学結像理論の吟味を行ってきました。JM3に投稿した論文（下記URL無料引き出し可）がその一つです。
位相シフトマスクの発明の経緯とともに、結像理論における光線の方向余弦の重要性、レンズの結像は点から点ではなく面から面であること、などを述べたいと思います。
https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-micro-nanopatterning-materials-and-metrology/volume-15/issue-2/021206/Theoretical-study-for-aerial-image-intensity-in-resist-in-high/10.1117/1.JMM.15.2.021206.full
タイムテーブル
テーブル2セル
スケジュール
講義名
15:00 接続開始
事務局
15:25 開催挨拶
リソグラフィー専門委員会
15:30 講演会
東京工芸大学 名誉教授 渋谷 眞人 様
16:10 質疑応答
16:20 閉会挨拶
事務局 接続終了
| スケジュール | 講義名 |
|---|---|
| 15:00 接続開始 | 事務局 |
| 15:25 開催挨拶 | リソグラフィー専門委員会 |
| 15:30 講演会 | 東京工芸大学 名誉教授 渋谷 眞人 様 |
| 16:10 質疑応答 | |
| 16:20 閉会挨拶 | 事務局 接続終了 |
■SPIEについて■
光学・フォトニクスの国際学会のSPIEは、エンジニア、科学者、学生、ビジネス専門家を集め、光関連の科学と技術の前進に取り組んでいます。1955年に設立された当学会は、業界をリードするカンファレンスと展示会、SPIEデジタル・ライブラリーにおける紀要、書籍、ジャーナルの出版、キャリア向上の機会を通じて、グローバルな構成員とつながり、関係を構築しています。
【URL】http://www.spie.org
■東京工芸大学■
東京工芸大学は1923(大正12)年に創立した「小西寫眞（写真）専門学校」を前身とし「テクノロジーとアートを融合した無限大の可能性」を追究し続けて2023年には創立100周年を迎えます。
【URL】https://www.t-kougei.ac.jp/
■お申し込み■
お申込み後、すぐに返信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けておりませんので、↓事務局担当までお問い合わせください。
■お問い合わせ■
担当：SEAJ事務局 星野・後藤
TEL：03-3261-8262 e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp
↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。
■当日の接続URLについて■
前日、頁トップに「220419_当日のURL_PW.pdf」を掲載し、開封PWを、お申込いただいたメールアドレスに配信します。
■事前準備■
Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。
インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー・ヘッドセット 等）
◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge Chrome 他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前に確認の上、ご利用
あらかじめアプリをインストールしておくとスムーズにゲストとして利用をすることができますが、インストールせず、ブラウザでの参加も可能です。
また音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めします。
◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ 
など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ
■当日の参加手順について■
- 頁トップの「220419_当日のURL_PW.pdf」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
- （アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、）Teams講演会の画面が開きます。
- カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
- [名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。 例）SEAJ後藤
- アクセスするとすぐにTeams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。
★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます。★右下の吹き出しマーク（青枠）をクリックすると、チャット（インスタントメッセージ）の入力エリアが表示されます。
■その他Teams使用の際の注意事項■
- 今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
- ご質問の仕方について
- 内容について：
①講演中は「チャット」をご利用ください。（※日本語でも結構です。）講演終了後に回答していただく予定です。
②講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。
※ご質問はできるだけ早い方から順に対応します。
※時間内に回答しきれなかった分は、終了後のアンケートにご記入下さい。
その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合
担当：SEAJ事務局 星野・後藤 03-3261-8262または050-5469-1822 souchi.seigyo★seaj.or.jp
↑「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。