リソグラフィ専門委員会主催「電子線リソグラフィ用帯電防止材料の開発と実用化」
★視聴後のアンケートご協力のお願い（所要時間4分）
https://forms.office.com/r/G9wmf4tiZn
220624_当日のURL_PW.pdf
★ご参加の皆様にPWを配信しております。入力してご覧ください。6/23
対象
SEAJ会員企業と関係者
主旨
SEAJリソグラフィ専門委員会では、最新のリソ技術や、Logic、DRAM、SCM等のデバイス毎の技術、市場動向の講演会開催を通じて、最新情報を収集しています。この度 当委員会は元 富士通株式会社 渡部 慶二 様 をお招きしてご講演頂くこととし、会員企業の皆様とも共有することといたしました。ご関係者はもちろん、周りにご興味のある方がいらっしゃいましたら、ご案内いただけますと幸いです。皆様のご参加をお待ち申し上げます。
開催日程・場所
| お申し込み | 開催日程 | 開催場所 |
|---|---|---|
| 参加申込 | 2022年 6月 24日(金) | Microsoft Teams |
講師
渡部 慶二 様（Keiji Watanabe）
内容
電子線リソグラフィは、微細パターンの直接描画が可能である反面、微細化の進展とともにレジスト等へのチャージアップによるパターンの位置ずれ現象が問題となっている。特に近年は先端フォトマスクの位置ずれの許容値は非常に厳しいものとなっており、位置精度向上技術の開発要求は非常に高い。
今回開発した電子線リソグラフィー用帯電防止技術は、十分な位置ずれ防止効果を有する高導電性材料をプロセス負荷の小さいスピンコートで成膜できるようにするもので、我々は先駆的に取り組んできた。当初はテトラシアノキノジメタン（TCNQ）系材料を特定の有機現像タイプの電子線レジストプロセスに導入、実用化した。その後、化学増幅レジストなど汎用のアルカリ現像レジストプロセスへの対応が求められたことから、水溶性のポリアニリンスルホン酸（PAS）を主成分とする帯電防止材料aquaSAVE™を開発するに至った。
本帯電防止材料技術は、1990年代以降、ロジックLSI、高電子移動度トランジスタ（HEMT）などの先端半導体やフォトマスクの電子線リソグラフィープロセスで実用化され、その後適用領域を広げてきた。特に、近年は超解像技術への対応が必要な先端フォトマスク製造プロセスで存在感を高め急速に需要が高まっている。
今回、本件技術で三菱ケミカルの鵜澤氏およびHOYAグループの廣松氏とともに第54回市村賞を受賞した内容を中心に、開発の経緯と実用化に向けた企業間連携の重要性を含めて講演する。
タイムテーブル
テーブル2セル
スケジュール
講義名
14:30
接続開始
15:00
開催挨拶半井委員長
15:05
リソグラフィ専門委員会紹介 永原副委員長
15:20
ご講演 渡部 慶二 様
16:10
質疑応答
16:20
閉会挨拶
| スケジュール | 講義名 |
|---|---|
| 14:30 | 接続開始 |
| 15:00 | 開催挨拶 半井委員長 |
| 15:05 | リソグラフィ専門委員会紹介 永原副委員長 |
| 15:20 | ご講演 渡部 慶二 様 |
| 16:10 | 質疑応答 |
| 16:20 | 閉会挨拶 |
■お申し込み■
お申込み後、すぐに返信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けておりませんので、↓事務局担当までお問い合わせください。
■お問い合わせ■
担当：SEAJ事務局 星野・後藤
TEL：03-3261-8262 e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp
↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。
■当日の接続URLについて■
前日、頁トップに「220624_当日のURL_PW.pdf」を掲載し、開封PWを、お申込いただいたメールアドレスに配信します。
■事前準備■
Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。
インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー・ヘッドセット 等）
◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge Chrome 他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前に確認の上、ご利用
あらかじめアプリをインストールしておくとスムーズにゲストとして利用をすることができますが、インストールせず、ブラウザでの参加も可能です。
また音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めします。
◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ 
など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ
■当日の参加手順について■
- 頁トップの「「220624_当日のURL_PW.pdf」」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
- （アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、）Teams講演会の画面が開きます。
- カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
- [名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。 例）SEAJ後藤
- アクセスするとすぐにTeams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。
★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます。★右下の吹き出しマーク（青枠）をクリックすると、チャット（インスタントメッセージ）の入力エリアが表示されます。
■その他Teams使用の際の注意事項■
- 今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
- ご質問の仕方について
- 内容について：
①講演中は「チャット」をご利用ください。（※日本語でも結構です。）講演終了後に回答していただく予定です。
②講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。
※ご質問はできるだけ早い方から順に対応します。
※時間内に回答しきれなかった分は、終了後のアンケートにご記入下さい。
その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合
担当：SEAJ事務局 星野・後藤 03-3261-8262または050-5469-1822 souchi.seigyo★seaj.or.jp
↑「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。