一般社団法人 日本半導体製造装置協会

その他講演会・セミナー

リソグラフィ専門委員会「マスクレスリソグラフィとミニマルファブへの期待」

★三田先生のご講演をご覧いただけるようにいたしました。録画20230131pw.pdf
★ご参加の皆様にPWを配信しております。入力してご覧ください。2/27

※只今不具合が発生しており、ご覧になれない方がおらることを確認しました。調整後お知らせしますのでもう少々お待ちください。2/28(火)　9:45am

★聴講後のアンケートにご協力ください。https://forms.office.com/r/6z6AFHXt3D
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三田先生から昨日の資料をいただきました。
ご参加の皆様にPWを配信しております。入力してご覧ください。
★配布資料:三田先生
配布資料20230131_2.pdf
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当日三田先生のご講演中、機材トラブルによりライブ配信の継続が困難と判断いたしました結果、セミナーを中断とさせていただきました。貴重なお時間を頂戴しているにも関わらず、大変ご迷惑をおかけしましたこと、深くお詫び申し上げます。

本件に関する対応は改めてメールにてご連絡させていただきますが、このような事態となり誠に申し訳ございません。
改めてご案内させていただきますので、今しばらくお待ちいただけますと幸いです。
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ご参加の皆様にPWを配信しております。入力してご覧ください。
★配布資料:江刺先生
配布資料20230131_1pw.pdf
★当日の接続URL
当日のURL20230131_1pw.pdf

対象

SEAJ会員企業と関係者

主旨

SEAJリソグラフィ専門委員会では、最新のリソ技術や、Logic、DRAM、SCM等のデバイス毎の技術、市場動向の講演会開催を通じて、最新情報を収集しています。今回はミニマルファブ関連をテーマに企画致します。

開催日程・場所

セミナーテーブル
お申し込み 開催日程 開催場所
参加申込 2023年 1月 31日(火) Microsoft Teams

講師

江刺 正喜 様（ESASHI, Masayoshi）

東北大学
マイクロシステム融合研究開発センター (μSIC)、シニアリサーチフェロー

三田 吉郎 様（MITA, Yoshio）

東京大学大学院　
工学系研究科　電気系工学専攻 融合情報学コース 教授

内容

Ⅰ 超並列電子ビーム描画装置の開発 ―集積回路のディジタルファブリケーションを目指して―
開発の効率化や多品種少量生産のため、企業では採算が合いにくい集積回路のディジタルファブリケーションへの大学の挑戦についてご講演いただきます。

Ⅱ 革新的半導体設計の民主化に向けたマスクレスリソグラフィへの期待
東京大学工学系研究科付属システムデザイン研究センター(d.lab)では、文部科学省次世代X-nics半導体創製拠点形成事業を受託し、「Agile-X 革新的半導体設計の民主化拠点」を展開している。本拠点は、「LSI設計人口を10倍」にすることで、無数の成功の可能性を創出する。実現手法として、集積回路を極めて短期間に試作することで、Proof-of-Conceptサイクルを世界一高速に、しかも廉価に回すことを目指す。現在、東京大学武田先端知ビルおよびスーパークリーンルーム(SCR)に極短Turn-Around-Time(TAT)のLSI配線試作環境を構築中である。鍵になる技術は「マスクレス直接描画リソグラフィ」であり、d.labでは前身のVDEC時代より四半世紀にわたる直接描画装置の公開利用実績がある。本講演では、日本を元気にする研究システム構築に向けたに向けたマスクレスリソグラフィへの期待を、SCRの顔であるプレイングプロフェッサー、三田吉郎教授が講演する。
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タイムテーブル

テーブル2セル
スケジュール 講義名
14:30 接続開始
15:00 開催挨拶
15:10  Ⅰ 東北大学　江刺 正喜 様
16:00  休憩
16:05 Ⅱ 東京大学　三田 吉郎 様
16:55  閉会挨拶
17:00 終了

■お申し込み■

お申込み後、すぐに返信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けておりませんので、↓事務局担当までお問い合わせください。

申込み締切：1月30日17:00

■お問い合わせ■

担当：SEAJ事務局　星野・後藤　
TEL：03-3261-8262　e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp

↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。

■当日の接続URLについて■

頁トップに「230131_当日のURL_PW.pdf」を掲載し、開封PWを、お申込いただいたメールアドレスに配信します。

■事前準備■　　

Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。　

インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー・ヘッドセット 等）

◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge　 Chrome　他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前に確認の上、ご利用ください。

あらかじめアプリをインストールしておくとスムーズにゲストとして利用をすることができますが、インストールせず、ブラウザでの参加も可能です。

また音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めします。

◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ その他のオプションを表示する場合に選択します など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ

■当日の参加手順について■

  1. 頁トップの「2

    ■お申し込み■

    お申込み後、すぐに返信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けておりませんので、↓事務局担当までお問い合わせください。

    ■お問い合わせ■

    担当：SEAJ事務局　星野・後藤　
    TEL：03-3261-8262　e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp

    ↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。

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    Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。　

    インターネットに接続できるPC
    音声デバイス（マイク・スピーカー・ヘッドセット 等）

    ◇サポートされているブラウザ
    Microsoft Edge　 Chrome　他
    Teams講演会で利用するPCの環境を事前に確認の上、ご利用ください。

    あらかじめアプリをインストールしておくとスムーズにゲストとして利用をすることができますが、インストールせず、ブラウザでの参加も可能です。

    また音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めします。

    ◇テスト通話を行う
    テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ その他のオプションを表示する場合に選択します など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ

    ■当日の参加手順について■

    1. 頁トップの「230131_当日のURL_PW.pdf」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
    2. （アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、）Teams講演会の画面が開きます。
    3. カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
    4. [名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。　例）SEAJ後藤
    5. アクセスするとすぐにTeams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。
      ★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます。★右下の吹き出しマーク（青枠）をクリックすると、チャット（インスタントメッセージ）の入力エリアが表示されます。

    ■その他Teams使用の際の注意事項■

    • 今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
    • ご質問の仕方について
    • 内容について：
      ①講演中は「チャット」をご利用ください。講演終了後に回答していただく予定です。　
      ②講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。
      ※ご質問はできるだけ早い方から順に対応します。
      ※時間内に回答しきれなかった分は、終了後のアンケートにご記入下さい。


    その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合せください。
    担当：SEAJ事務局 星野050-5469-1819・後藤050-5469-1822
    TEL：080-7071-3905 e-mail:souchi.seigyo@seaj.or.jp

    _当日のURL_PW.pdf」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
  2. （アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、）Teams講演会の画面が開きます。
  3. カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
  4. [名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。　例）SEAJ後藤
  5. アクセスするとすぐにTeams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。
    ★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます。★右下の吹き出しマーク（青枠）をクリックすると、チャット（インスタントメッセージ）の入力エリアが表示されます。

■その他Teams使用の際の注意事項■

  • 今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
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  • 内容について：
    ①講演中は「チャット」をご利用ください。講演終了後に回答していただく予定です。    　
    ②講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。
    ※ご質問はできるだけ早い方から順に対応します。
    ※時間内に回答しきれなかった分は、終了後のアンケートにご記入下さい。


その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合せください。
担当：SEAJ事務局 星野050-5469-1819・後藤050-5469-1822
TEL：080-7071-3905 e-mail:souchi.seigyo@seaj.or.jp

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