リソグラフィ専門委員会「最先端EUVレジスト技術と材料技術」

多数のご参加ありがとうございました。
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★当日の接続URL
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11/21 お申込みいただきました皆様に↑PDFの開封PWをお送りします。

対象

SEAJ会員企業と関係者

主旨

SEAJリソグラフィ専門委員会では、最新のリソ技術や、Logic、DRAM、SCM等のデバイス毎の技術、市場動向の講演会開催を通じて、最新情報を収集しています。最先端EUVレジスト技術と材料技術をテーマに企画致します。

開催日程・場所

セミナーテーブル
お申し込み	開催日程	開催場所
参加申込	2023年 11月 21日(火)	〒160-0004 　東京都新宿区四谷1-6-1 コモレ四谷四谷タワー3階　Room C

講師

丸山　研　様（MARUYAMA, Ken）

JSR株式会社

森田　和代　様（MORITA, Kazuyo）

王子ホールディングス株式会社

永原　誠司　様（NAGAHARA, Seiji）

東京エレクトロン株式会社

内容

講演Ⅰ 最先端EUVレジスト材料技術: MOR, CARの延命　JSR 丸山様

講演概要 2019年にEUVリソグラフィが先端半導体の量産に使用されるようになり、待望のEUV時代が訪れた。EUVリソグラフィは、前身となるX線リソグラフィまで含めると、その開発に30年以上の時間を要した。光学系やマスク、光源などとともにフォトレジストの開発も困難を極めた。本講演ではEUVフォトレジストの開発を振り返るとともに、次世代EUVレジストとして期待されるメタルレジストの開発動向についても述べる。

講演Ⅱ 最先端EUVレジスト技術と材料技術：バイオマスの活用　王子HD 森田様

バイオマスを活用したEUVレジストとそのプロセス技術について紹介する。
昨今脱炭素に向けた取組が各所で積極的に行われており、木質由来のバイオマス材料の活用は非常に重要となってきた。また、high-NA EUVリソグラフィでは更なる解像度が必要なため、新たなレジストが求められている。本講演では、バイオマスがEUV光に反応しやすい性質を利用したnon-CARタイプのバイオマスEUVレジストについて述べる。さらに、このバイオマスEUVレジストの性能を向上させるための独自プロセスとして、PreMi(pre-exposure metal infiltration process)を提案している。これを適用した結果についても紹介する。

講演会Ⅲ 最先端EUVレジスト技術: EUVレジスト塗布、現像東京エレクトロン永原様

最先端半導体製造時の微細デバイスパターンの形成に、EUVリソグラフィ技術が広く用いられている。東京エレクトロン株式会社では、EUVリソグラフィ用のレジストプロセス装置（塗布現像装置）を製造販売している。本講演では、次世代の微細加工で要求される高スループットと低欠陥を同時に実現するプロセス技術に対する開発状況を、微細パターン形成事例を通じてご紹介する。

タイムテーブル

テーブル2セル
スケジュール	講義名
14:30	講演者来場 / 接続開始
15:00	挨拶
15:35	講演Ⅰ 最先端EUVレジスト材料技術: MOR, CARの延命　JSR丸山様
15:35	休憩（時間調整）
15:45	講演Ⅱ 最先端EUVレジスト技術と材料技術：バイオマスの活用　王子HD森田様
16:15	休憩（時間調整）
16:25	講演会Ⅲ 最先端EUVレジスト技術: EUVレジスト塗布、現像 TEL永原様
16:55	挨拶　/ アンケート依頼
17：00	終了

■お申し込み■

お申込み後、すぐに返信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けておりませんので、↓事務局担当までお問い合わせください。

申込み締切：2023年11月20日17:00

■お問い合わせ■

担当：SEAJ事務局　大久保・後藤　
TEL：03-3261-8262　e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp

↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。

■当日の接続URLについて■

頁トップに「231121_当日のURL_PW.pdf」を掲載し、開封PWを、お申込いただいたメールアドレスに配信します。

■事前準備■　　

Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。　

インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー・ヘッドセット等）

◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge　 Chrome　他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前に確認の上、ご利用ください。

あらかじめアプリをインストールしておくとスムーズにゲストとして利用をすることができますが、インストールせず、ブラウザでの参加も可能です。

また音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めします。

◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ その他のオプションを表示する場合に選択しますなど] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオデバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ

■当日の参加手順について■

頁トップの「231121_当日のURL_PW.pdf」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
（アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、）Teams講演会の画面が開きます。
カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
[名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。　例）SEAJ後藤
アクセスするとすぐにTeams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。

■その他Teams使用の際の注意事項■

今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
ご質問の仕方について
内容について：
①講演中は「チャット」をご利用ください。講演終了後に回答していただく予定です。　
②講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。
※ご質問はできるだけ早い方から順に対応します。
※時間内に回答しきれなかった分は、終了後のアンケートにご記入下さい。

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