一般社団法人 日本半導体製造装置協会

その他講演会・セミナー

リソグラフィ専門委員会「DSA Lithographyの現状や今後の展望」

★当日の接続URL
　お申込みいただきました皆様に開封PWをお送りします（9/8(月)14:30以降）。下記リンクのpdfをご参照ください。
技術講演会250909URL_PW.pdf

★ご受講後、アンケートへのご協力をよろしくお願いします。
https://forms.office.com/r/GMv4Nj9d7z

リソグラフィ専門委員会_受講後アンケート_【DSA Lithography の現状や今後の展望】_ 用 QR コード.png
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★受付を終了いたしました。
　多数のお申込みをいただき、ありがとうございました。
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■申し込み締め切りは、9/8(月)正午までとなっております。
■会場は人数に限りがあるため【先着順】となります。
■資料の配信はございません。

対象

対面+WEB（Teams）：リソグラフィ専門委員会 / SEAJ 会員企業

主旨

SEAJリソグラフィ専門委員会では、最新のリソグラフィ技術や各種デバイス（Logic,DRAM,SCMなど）に関する技術・市場動向を把握するため、定期的に講演会を開催しています。

今回の講演会では「DSA Lithographyの現状や今後の展望」をテーマに、特に注目されている DSA (Directed Self-Assembly) 技術について、専門家をお招きしてご講演いただきます。

DSAは、微細化を進めるうえで非常に有効な技術であり、EUVやNILなどの次世代リソグラフィ技術との組み合わせによって、さらなる可能性が期待されています。本講演では、DSAの現状や今後の展望、実際のプロセスへの適用事例、導入に際しての課題などについて詳しくご紹介いただきます。

参加者の皆様との意見交換を通じて、委員の皆様の知見を深め、企業間の技術的な相乗効果を生み出す場となることを目指しています。

開催日程・場所

セミナーテーブル
お申し込み 開催日程 開催場所
参加申込 2025年 9月 9日(火) SEAJ事務局　Teams　（ハイブリッド開催）

講師

東京エレクトロン株式会社　隄 智彦 氏（TSUTSUMI,Tomohiko）

タイムテーブル

テーブル2セル
スケジュール 講義名
15：50 接続開始
16：00 開催挨拶（SEAJリソグラフィ専門委員会委員長）
堤様ご講演
16：35 質疑応答
16：50 閉会挨拶
接続終了

■費用■

　無 料　(SEAJ会員企業）

■お申し込み■

お申込み後、すぐに自動返信メールが送信されます。
メールが届かない場合は、正常に受付が完了していない可能性がございます。
その際は、お手数ですが下記の事務局担当までお問い合わせください。

担当：SEAJ事務局　大久保　
TEL：03-3261-8262　e-mail: souchi.seigyo★Seaj.or.jp

↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。

【事前準備のお願い】

Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。　

インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー・ヘッドセット 等）

◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge　 Chrome　他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前に確認の上、ご利用ください。

あらかじめアプリをインストールしておくとスムーズにゲストとして利用をすることができますが、インストールせず、ブラウザでの参加も可能です。

また音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めします。

◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ その他のオプションを表示する場合に選択します など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ

■当日の参加手順について■

  1. 頁トップの「20250909_当日のURL_PW.pdf」（9/4頃、掲載予定）をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
  2. （アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動）Teams講演会の画面が開きます。
  3. カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
  4. [名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。　例）SEAJ松尾
  5. アクセスするとすぐにTeams会議の画面が表示されます。

■その他Teams使用の際の注意事項■

  • 今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
  • ご質問の仕方について
  • 内容について：
    ①講演中は「Q&A」をご利用ください。講演終了後に回答していただく予定です。　
    ②講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。
    ※ご質問はできるだけ早い方から順に対応します。
    ※時間内に回答しきれなかった分は、終了後のアンケートにご記入下さい。

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